等离子清洗电极制造技术

技术编号:8602401 阅读:165 留言:0更新日期:2013-04-19 04:21
本实用新型专利技术为等离子清洗电极,解决已有清洗电极安装和维护不便,易损坏零件和塑料薄膜的问题。电极棒(6)两端各与一真空箱(4)连接,其中一端安装在与真空箱(4)连接的固定座(11)上,该端与真空箱之间有绝缘环(10),其中另一端与真空箱之间有绝缘套筒(8)并由螺母(9)固定于真空箱(4),电极棒该端有进水管(15)和出水管(14),所述电极棒(6)外安装有外罩,外罩包括位于电极棒两端的支撑(1),与两支撑(1)连接的固定罩(2),与固定罩连接的活动罩(3),气管(12)固定在真空箱(4)上,并穿过支撑(1),固定罩(2)上装有薄膜导向块(13)。(*该技术在2022年保护过期,可自由使用*)

【技术实现步骤摘要】

本技术与真空卷绕镀膜机的等离子清洗电极有关。
技术介绍
真空卷绕镀膜机的等离子清洗电极用于对塑料薄膜进行清洗,真空卷绕镀膜机是用来在塑料薄膜上蒸镀一层金属膜,蒸镀金属膜前要对塑料薄膜进行清洗,以提高金属膜的附着力。低气压下,充入特定气体,在两组电极间施加一定电压,气体被电离,电离后的等离子体在运动过程中撞击薄膜,去掉薄膜表面的杂质,并使薄膜带电,提高蒸镀的金属膜在薄膜上的附着力。已有的等离子清洗电极结构复杂,安装和维护不便,电极棒过热会造成零件变形和密封圈的损坏,电极外罩易损坏塑料薄膜。
技术实现思路
本技术的目的是提供一种结构简单,安装和维护方便,零件不会因电极棒过热受损,不会损坏塑料薄膜的等离子清洗电极。本技术是这样实现的本技术等离子清洗电极,电极棒6两端各与一真空箱4连接,其中一端安装在与真空箱4连接的固定座11上,该端与真空箱之间有绝缘环10,其中另一端与真空箱之间有绝缘套筒8并由螺母9固定于真空箱4,电极棒该端有进水管15和出水管14,所述电极棒6外安装有外罩,外罩包括位于电极棒两端的支撑1,与两支撑I连接的固定罩2,与固定罩连接的活动罩3,气管12固定在真空箱4上,并穿过支撑1,固定罩2上装有薄膜导向块13。本技术结构简单,安装和维护方便,对电极棒进行维护保养时,只需拆下活动罩。电极棒由水冷却,可防止过热。固定罩外装的薄膜导向块可避免损坏塑料薄膜。附图说明图1为本技术结构图。图2为本技术的活动罩拆除图。图3为电极棒结构图。图4为电极棒一端与真空箱连接图。图5为电极棒另一端与真空箱连接图。具体实施方式在电极棒6和真空箱4之间加高压直流电源,电极棒6为阳极,为使放电区域在一定范围内进行,电极棒6外安装有电极外罩,电极外罩与真空箱4用螺钉连接, 为电源的阴极。电极外罩由电极外罩支撑1、电极固定罩2、电极活动罩3组成,并用螺钉连接;对电极棒进行维护保养时,只需要拆装电极活动罩3。电极棒6内有磁极,一端焊有冷却水进水管15和出水管14,磁极可以使电极棒周围的气体电离更充分,提高清洗能力;长时间清洗,电极棒会发热,通入冷却水可以防止电极棒过热,避免零件变形和密封圈的损坏。电极棒的两端分别固定在真空箱4内,一端用锁母9固定,另一端安装在固定座11上,通过固定座11用螺钉固定在真空箱4上,为防止阴极和阳极导通,在电极与真空箱之间安装绝缘套筒8和绝缘环10。电极外罩上装有气管12,以通入特定气体,被电极棒6电离后产生等离子体,轰击薄膜表面,去掉杂质,并使薄膜带 电,提高蒸镀的金属膜在薄膜上的附着力。电极外罩上装有薄膜导向块13,薄膜从两块导向块13之间穿过,防止薄膜碰到电极固定罩2,避免薄膜损环。本文档来自技高网...

【技术保护点】
等离子清洗电极,其特征在于电极棒(6)两端各与一真空箱(4)连接,其中一端安装在与真空箱(4)连接的固定座(11)上,该端与真空箱之间有绝缘环(10),其中另一端与真空箱之间有绝缘套筒(8)并由螺母(9)固定于真空箱(4),电极棒该端有进水管(15)和出水管(14),所述电极棒(6)外安装有外罩,外罩包括位于电极棒两端的支撑(1),与两支撑(1)连接的固定罩(2),与固定罩连接的活动罩(3),气管(12)固定在真空箱(4)上,并穿过支撑(1),固定罩(2)上装有薄膜导向块(13)。

【技术特征摘要】
1.等离子清洗电极,其特征在于电极棒(6)两端各与一真空箱(4)连接,其中一端安装在与真空箱(4)连接的固定座(11)上,该端与真空箱之间有绝缘环(10),其中另一端与真空箱之间有绝缘套筒(8)并由螺母(9)固定于真空箱(4),电极棒该端有进水管(...

【专利技术属性】
技术研发人员:张果王伟姜玉伦晋照春
申请(专利权)人:爱发科东方真空成都有限公司
类型:实用新型
国别省市:

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