真空泵制造技术

本发明专利技术提供一种真空泵，其能够容易改变控制单元相对于泵主体的安装相位。其包括：泵主体，其具有被磁轴承支承的旋转体；控制单元，其被安装在泵主体的下表面上，用于驱动控制泵主体；连接器装置，其在泵主体与控制装置之间输入以用输出电力、控制信号，具有泵主体侧的第一连接器构件和控制单元侧的第二连接器构件；连接器安装构件，在该连接器安装构件上设置有第一连接器构件，该连接器安装构件以与上述泵心轴同轴的状态被安装，至少以第一安装相位或者第二安装相位被安装在泵主体上。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及泵单元与电源单元成为一体的一体型真空泵。
技术介绍
在如涡轮分子泵或牵引分子泵那样的真空泵中，在泵主体的外壳侧面设有排气 口。此外，用于与控制电源(电源单元)连接的控制电源连接口(连接器)设在泵主体的 外壳侧面(参照专利文献I)。专利文献I :日本授权技术第3138105号公报但是，在上述专利文献所记载的真空泵中，为了改变控制电源相对于以泵心轴作 为中心的泵主体的安装相位，需要将控制电源连接口重新设置到别的位置。因此，不容易改 变控制电源相对于泵主体的安装相位。
技术实现思路
(I)技术方案I涉及的真空泵包括泵主体，其具有被磁轴承支承的旋转体；控制 单元，其以与泵心轴同轴的状态被安装在泵主体的下表面上，用于驱动控制泵主体；连接器 装置，其用于在泵主体与控制单元之间输入以及输出电力、控制信号，该连接器装置具有泵 主体侧的第一连接器构件和控制单元侧的第二连接器构件，该第一连接器构件和第二连接 器构件能够相互装卸；以及连接器安装构件，其以与泵心轴同轴的状态被安装在泵主体的 下表面上，在该连接器安装构件上设置有第一连接器构件，与泵主体和控制单元的安装相 位相对应地，使连接器安装构件以第一安装相位或者第二安装相位被安装在泵主体的下 表面上。根据本专利技术，能容易地改变控制单元相对于泵主体的安装相位。附图说明图I是涡轮分子泵装置的外观图。图2是说明水冷套的图，(a)是俯视图、(b)是主视图、(C)是仰视图。图3是III-III向视剖视图。图4是说明电源装置壳体的图，(a)是俯视图、(b)是主视图。图5是图4的V-V剖视图。图6是图4的VI-VI剖视图。图7是图4的VII-VII剖视图。图8是说明套(jacket)主体与电源装置壳体的配合结构的图。图9是详细表示控制装置的框图。图10是表示机构部封闭板的图，(a)是侧视图、(b)是仰视图。图11是表示被安装在外壳的下表面上的机构部封闭板的图，(a)是侧视图、(b)是 仰视图。具体实施方式参照图1 图11，说明作为本专利技术一实施方式的涡轮分子泵装置I。涡轮分子泵 装置利用电动机驱动形成有旋转叶片的转子旋转，通过使该旋转叶片相对于固定叶片高速 旋转，排出气体分子。这种涡轮分子泵装置连接在各种真空处理装置使用。图1表示作为本专利技术一实施方式的涡轮分子泵装置I的外观。涡轮分子泵I包括 用于进行真空排气的泵主体11、冷却装置13、以及用于驱动控制泵主体11的电源装置(控 制单元)14。关于泵主体11见后述。冷却装置13安装在泵主体11与电源装置14之间，主要用于冷却电源装置14内 的发热构件，特别是电动机驱动回路中的电子零件。如图2所示，冷却装置13具有套主体 13a，该套主体13a的内部形成有冷却水通道13d ;冷却水入口 13b以及冷却水出口 13c，它 们用于从未图示的泵向冷却水通道循环冷却水。泵主体11包括外壳110和安装在外壳110下方的基座12(外壳120)。在外壳110 的图1的上下位置处设有连接用法兰110UF、110LF。在外壳120的图1的上下位置处设有 连接用法兰120UF、120LF。将外壳110和外壳120称为泵外壳。外壳110的上部连接用法 兰110UF利用螺栓IlBT连接于未图示的真空处理装置的排气口。外壳110的下部连接用 法兰110LF利用螺栓12BT连接于外壳120的上部连接用法兰120UF。外壳120的下部连接 用法兰120LF设置在冷却装置13的上表面13US上，而且冷却装置13利用螺栓13BT紧固 在外壳120的下表面上。冷却装置13的下表面抵接于电源装置14的壳体(金属制)140 的上端面，壳体140利用螺栓14BT紧固在冷却装置13上。如图2所示，套主体13a为大致八边形的平板形状，在底面形成有平面形状为大致 八边形的凸部13e。在套主体13a的上表面13US的中央设有用于防止与后述的机构部封闭 板122干扰的大致圆形的凹部13i。在凹部13i的从凹部13i的中心位置偏心的位置设有 供后述的连接器构件132以及各配线145贯穿的开口 13j。在套主体13a的外周每隔规定 角度形成有突出部13f，在该突出部13f上贯穿该突出部13f地设有孔13g，该孔13g用于 将电源装置壳体140紧固在该突出部13f上。在凸部13e上以与泵旋转心轴(泵心轴)呈同心圆状布置的方式设有螺纹孔13h。 如图1所示，在排气部12的外壳120的下部连接法兰120LF上抵接套上表面13US，并通过 将螺栓13BT螺纹结合于螺纹孔13h，将套主体13a紧固在外壳120上。在套主体13a的背 面13LS上抵接电源装置壳体140的上端面，并通过将螺栓14BT螺纹结合于电源装置壳体 140的螺纹孔，将电源装置14紧固在套主体13a上。图3是关于涡轮分子泵装置I的图1的II1-1II向视剖视图。另外，在图3中省 略记载了后述的螺栓124、配设在电源装置14的内部的电路基板等。在泵外壳的内部中心， 以使转子4能旋转的方式配置有转子4，该转子4具有在该旋转轴4c的周围在该旋转轴的 轴向(图示上下方向)以多级排列的转子叶片4a。该涡轮分子泵装置I是复合型的涡轮分子泵，在外壳110的内部空间具有叶片排 气部2，在外壳120的内部空间具有螺旋槽排气部3。叶片排气部2由多级的转子叶片4a 和多级的定子叶片6构成，螺旋槽排气部3由转子圆筒部4b和螺旋定子8构成。转子叶片4a和定子叶片6在泵的轴向上交替配置。在外壳110的内表面上层叠有多个环状垫圈5，各定子叶片6的外周部被上下的垫圈5夹持而被保持。在转子4上一体形成有配置在外壳120内的转子圆筒部4b。在转子圆筒部4b的外周形成有螺旋槽4b2，在螺旋槽4b2的外周配置有圆筒形状的螺旋定子8。螺旋定子8利用螺栓41被固定在外壳 120 上。对于形成有转子圆筒部4b以及多级转子叶片4a的转子4，利用设置在外壳120的径向磁轴承31以及推力磁轴承32以非接触状态支承该转子4的旋转轴4c。转子4的旋转轴4c被磁轴承31、32以非接触的方式支承，并且利用电动机35驱动转子4旋转。利用间隙传感器33a、33b、33c检测转子4的旋转轴4c的磁悬浮位置。附图标记34是机械式的保护轴承，用于在转子4的旋转轴4c处于没有在磁轴承31、32的磁作用下悬浮的状态时、支承转子4的旋转轴4c的。在外壳120上设有用于安装转子4、电动机35等机构部的空间125，在外壳120的下表面设有通至空间125的开口 121。在涡轮分子泵装置I的运转过程中，空间125成为真空状态。因此，开口 121被机构部封闭板122封闭。机构部封闭板122是呈圆形板形状的封闭法兰状构件，在机构部封闭板122上安装有后述的连接器装置130的连接器构件131。 关于机构部封闭板122后面详细叙述。当利用电动机35驱动转子4旋转时，未图示的真空处理装置内的气体分子从进气口 IlQ流入。从进气口 IlQ流入的气体分子在叶片排气部2处被拍打向下游侧。虽然未图示，转子叶片4a与定子叶片6的叶片倾斜方向相反，而且，倾斜角度形成为从作为高真空侧的前级侧朝向作为下游侧的后级侧变化为难以使气体分子逆行的角度。气体分子在叶片排气部2处被压缩而移送向图示下方的螺旋槽排气部3。在螺旋槽排气部3本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种真空泵，其特征在于，包括：泵主体，其具有被磁轴承支承的旋转体；控制单元，其以与泵心轴同轴的状态被安装在上述泵主体的下表面上，用于驱动控制上述泵主体；连接器装置，其用于在上述泵主体与上述控制单元之间输入以及输出电力、控制信号，该连接器装置包括上述泵主体侧的第一连接器构件和上述控制单元侧的第二连接器构件，且该第一连接器构件和第二连接器构件能够相互装卸；以及连接器安装构件，其以与上述泵心轴同轴的状态被安装在上述泵主体的下表面上，在该连接器安装构件上设置有上述第一连接器构件，与上述泵主体和上述控制单元间的安装相位相对应地，使上述连接器安装构件以第一安装相位或者第二安装相位被安装在上述泵主体的下表面上。

【技术特征摘要】
1.一种真空泵，其特征在于，包括 泵主体，其具有被磁轴承支承的旋转体； 控制单元，其以与泵心轴同轴的状态被安装在上述泵主体的下表面上，用于驱动控制上述泵主体； 连接器装置，其用于在上述泵主体与上述控制单元之间输入以及输出电力、控制信号，该连接器装置包括上述泵主体侧的第一连接器构件和上述控制单元侧的第二连接器构件，且该第一连接器构件和第二连接器构件能够相互装卸；以及 连接器安装构件，其以与上述泵心轴同轴的状态被安装在上述泵主体的下表面上，在该连接器安装构件上设置有上述第一连接器构件， 与上述泵主体...

【专利技术属性】
技术研发人员：小龟正人，
申请(专利权)人：株式会社岛津制作所，
类型：发明
国别省市：