真空泵制造技术

本发明专利技术提供一种真空泵，其能够容易改变控制单元相对于泵主体的安装相位。其包括：泵主体，其具有被磁轴承支承的旋转体；控制单元，其被安装在泵主体的下表面上，用于驱动控制泵主体；连接器装置，其在泵主体与控制装置之间输入以用输出电力、控制信号，具有泵主体侧的第一连接器构件和控制单元侧的第二连接器构件；连接器安装构件，在该连接器安装构件上设置有第一连接器构件，该连接器安装构件以与上述泵心轴同轴的状态被安装，至少以第一安装相位或者第二安装相位被安装在泵主体上。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及泵单元与电源单元成为一体的一体型真空泵。
技术介绍
在如涡轮分子泵或牵引分子泵那样的真空泵中，在泵主体的外壳侧面设有排气 口。此外，用于与控制电源(电源单元)连接的控制电源连接口(连接器)设在泵主体的 外壳侧面(参照专利文献I)。专利文献I :日本授权技术第3138105号公报但是，在上述专利文献所记载的真空泵中，为了改变控制电源相对于以泵心轴作 为中心的泵主体的安装相位，需要将控制电源连接口重新设置到别的位置。因此，不容易改 变控制电源相对于泵主体的安装相位。
技术实现思路
(I)技术方案I涉及的真空泵包括泵主体，其具有被磁轴承支承的旋转体；控制 单元，其以与泵心轴同轴的状态被安装在泵主体的下表面上，用于驱动控制泵主体；连接器 装置，其用于在泵主体与控制单元之间输入以及输出电力、控制信号，该连接器装置具有泵 主体侧的第一连接器构件和控制单元侧的第二连接器构件，该第一连接器构件和第二连接 器构件能够相互装卸；以及连接器安装构件，其以与泵心轴同轴的状态被安装在泵主体的 下表面上，在该连接器安装构件上设置有第一连接器构件，与泵主体和控制单元的安装相 位相对应地，使连接器安装构本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种真空泵，其特征在于，包括：泵主体，其具有被磁轴承支承的旋转体；控制单元，其以与泵心轴同轴的状态被安装在上述泵主体的下表面上，用于驱动控制上述泵主体；连接器装置，其用于在上述泵主体与上述控制单元之间输入以及输出电力、控制信号，该连接器装置包括上述泵主体侧的第一连接器构件和上述控制单元侧的第二连接器构件，且该第一连接器构件和第二连接器构件能够相互装卸；以及连接器安装构件，其以与上述泵心轴同轴的状态被安装在上述泵主体的下表面上，在该连接器安装构件上设置有上述第一连接器构件，与上述泵主体和上述控制单元间的安装相位相对应地，使上述连接器安装构件以第一安装相位或者第二安装相位被安装在上述泵主体的下表面...

【技术特征摘要】
1.一种真空泵，其特征在于，包括 泵主体，其具有被磁轴承支承的旋转体； 控制单元，其以与泵心轴同轴的状态被安装在上述泵主体的下表面上，用于驱动控制上述泵主体； 连接器装置，其用于在上述泵主体与上述控制单元之间输入以及输出电力、控制信号，该连接器装置包括上述泵主体侧的第一连接器构件和上述控制单元侧的第二连接器构件，且该第一连接器构件和第二连接器构件能够相互装卸；以及 连接器安装构件，其以与上述泵心轴同轴的状态被安装在上述泵主体的下表面上，在该连接器安装构件上设置有上述第一连接器构件， 与上述泵主体...

【专利技术属性】
技术研发人员：小龟正人，
申请(专利权)人：株式会社岛津制作所，
类型：发明
国别省市：