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本发明提供一种真空泵，其能够容易改变控制单元相对于泵主体的安装相位。其包括：泵主体，其具有被磁轴承支承的旋转体；控制单元，其被安装在泵主体的下表面上，用于驱动控制泵主体；连接器装置，其在泵主体与控制装置之间输入以用输出电力、控制信号，具有泵...
该专利属于株式会社岛津制作所所有，仅供学习研究参考，未经过株式会社岛津制作所授权不得商用。

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