锯线引导辊制造技术

本发明专利技术涉及一种用于线锯（1）的锯线引导辊（3），该锯线引导辊具有一围绕辊轴（14）可转动地被支承的辊基体（15）和一设置在辊基体（15）上的辊壳（16），其中，所述辊壳（16）这样设计，使所述锯线引导辊（3）具有有目的同心转动偏差（17）。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种用于线锯/金属丝锯的锯线/金属丝引导辊和一种用于制造锯线引导辊的方法。本专利技术还涉及一种用于锯割硅块的线锯和一种用于锯割硅块的方法。
技术介绍
在生产晶圆的制造工艺中存在一工艺步骤，在该步骤中必须由硅柱切割出晶圆。 为此例如使用线锯。这种线锯例如由EP O 733 429 Al已知。一直存在对改进这种线锯的需求。
技术实现思路
本专利技术的目的在于，改进用于线锯的锯线引导辊。这个目的通过权利要求1的特征实现。本专利技术的核心在于，这样设计一锯线引导辊，使辊壳/辊套具有有目的/专设的同心转动偏差(Rundlauffehler),即，使棍壳有目的地偏离完美的同心转动(Rundlauf )。由此可以有目的地激励放置在锯线引导辊上且由锯线引导辊导引的锯线使其振动。按照本专利技术可知，由此可以更好地将也称为泥浆的磨料供应给切割缝隙。在此同心转动偏差指的是，棍壳在一垂直于棍轴的平面中具有一外圆周，其中，至少两个在该辊壳外圆周上的点具有不同的到辊轴的距离。与同心转动的偏差位于O.1mm至5mm、尤其O.1mm至3mm、尤其O. 5mm至3mm、尤其 O. 5mm至2mm的范围内。同心转动偏差优选位于O. 5mm至3mm的范围内。这在使由同心转动偏差引起的离心力和/或振动保持可控的同时，导致了振幅足够大的振动。—般可以通过旋转不对称的、S卩非旋转对称的辊壳设计结构来实现所述辊子转动从完美同心转动的偏尚。所述辊壳尤其可以具有一非圆环形的横截面。这可以由此实现，即，使所述辊壳具有一外部的和/或内部的、偏离圆形形状的圆周。非圆环形的横截面也可以通过外部的棍壳圆周和内部的棍壳圆周的非同心的布置来实现。换言之，在这种情况下棍壳的内部圆周中心点与外部圆周中心点间隔开一定距离。以特别简单的方式可以通过使所述辊壳具有一在径向上变化的厚度来实现辊子转动从同心转动的偏离。按照本专利技术的另一方面，也可以通过所述辊轴相对于辊基体的偏心的布置来实现同心转动偏差。此外所述辊基体可以具有偏离圆形的横截面。所述辊基体的横截面尤其可以是椭圆的。该横截面尤其具有大于O、尤其为至少O. 05的数值的偏心率。也可以由下述方式实现有目的的同心转动偏差、尤其相应的辊壳横截面，S卩，使所述辊壳具有导向沟，导向沟的在径向上的深度在辊壳的圆周上是变化的。本专利技术的另一目的 在于，给出一种用于制造锯线引导辊的方法。这个目的通过权利要求7的特征实现。本专利技术的核心在于，在给辊壳加工沟槽时偏心地支承所述辊。由此以特别简单的方法产生有目的的同心转动偏差。这样制造的锯线引导辊可以与常见的线锯一起使用。无需改变线锯的结构。本专利技术的另一目的在于，改善一种用于锯割硅块的线锯。这个目的通过权利要求 8的特征实现。本专利技术的核心在于，这样构造锯线引导辊中的至少一个，使得所述锯线区为了锯割硅块在线锯运行时至少局部地进行振动。所述锯线引导辊的这种构造可以通过锯线引导辊的适合的形状结构和/或适合的布置方式来实现。所述振动优选具有O. 5mm至3mm的振幅。所述振动的振幅位于O.1mm至5mm、尤其 O.1mm至3_、尤其O. 5mm至3_、尤其O. 5mm至2mm的范围内。所述用于产生振动的锯线引导辊尤其相对于锯线区的用于锯割的部段设置在锯线进入侧。所述锯线区的振动尤其在横向于、尤其垂直于锯线进给方向且垂直于由锯线区撑开的平面的方向上具有一振幅。按照本专利技术的另一方面，辊轴中的至少一个为了产生振动能以可振动的方式被支承。所述辊轴尤其能以可在垂直于切割平面、即基本垂直于锯线区的方向上振动的方式被支承。对所述辊轴的可振动的支承能够实现对锯线区的振动的特别精确的监控。在一特别有利的实施例中，所述辊轴也能沿着一弧形的轨迹可振动地被导引。由此尤其可以减小、特别是避免锯线应力的变化。可通过前面所述的按照本专利技术的锯线引导辊以简单的方式实现锯线区的振动。按照本专利技术的另一方面，所述线锯的锯线可具有与按照现有技术的用于线锯的锯线相比减小的直径。所述锯线尤其具有最大100 μ m的直径。较细的锯线尤其导致较窄的锯割缝隙并由此导致较少的损失，即，导致较好的硅块产出。本专利技术的另一目的在于，改善一种用于锯割硅块的方法。这个目的通过权利要求 14的特征实现。优点对应于上面的描述。所述振动在垂直于进给方向的方向上的振幅尤其位于O. 5mm至3_的范围内。附图说明本专利技术的其它优点和细节由借助附图对多个实施例的描述给出。附图示出图1线锯的示意结构，图2按照第一实施例的线锯的示意性局部截面图，图3按照本专利技术的一实施例的锯线引导辊的示意性纵剖视图，图4锯线引导辊另一实施例的按照图3的视图，图5线锯的另一实施例的按照图2的视图。具体实施方式`于锯割硅块13的线锯I的一般结构。用于锯割也称为锭料或硅柱的硅块13的线锯I具有框架，在其中支承有多个引导辊3。至少部分引导辊3是可旋转驱动的。引导辊3具有多个导向沟5。线锯I包括设计成锯线的切割元件。锯线2可以具有小于ΙΙΟμπκ尤其最大 100 μ m的直径。所述锯线2可利用仅示意性示出的驱动装置4驱动。锯线尤其利用锯线引导辊3 从第一锯线储辊31向着第二锯线储辊32在锯线区6里被导引。第一锯线储辊31形成用于锯线区6的馈入锯线储辊。第二锯线储辊32形成用于用过的锯线2在通过锯线区6之后的接收辊。锯线储辊31、32可分别利用驱动装置33、34驱动。线锯I还包括控制装置10，其用于控制驱动装置4和锯线储辊31、32的驱动装置 33,34ο对于线锯I尤其其组成部分的基本结构的其它细节请参阅ΕΡ0733429Α1。下面参照图2描述线锯I和锯线引导辊3的一种实施例的其它细节。锯线引导辊 3各自具有一以可在转动方向19上围绕辊轴14转动的方式被支承的辊基体15 (也称为辊芯)和一设置在辊基体15上的辊壳/辊套16。通过锯线引导辊3围绕辊轴14的转动，使锯线2沿着进给方向20运动。锯线引导辊3具有在20cm至40cm范围内的直径P。锯线引导辊3中的至少一个锯线引导辊的辊壳16这样设计，使得锯线引导辊3具有有目的的同心转动偏差17。对此指的是，辊壳16的外圆周在锯线引导辊3围绕辊轴14 转动时不保持精确的位置固定。换言之，同心转动偏差17意味着,棍壳16在一垂直于棍轴 14的平面内具有一外圆周，其中，辊壳16的该外圆周上的至少两个点具有不同的到辊轴14 的距离。辊壳16上的具有不同的到辊轴14的距离的点尤其也可以位于导向沟5的部位。 导向沟5因此具有在圆周上变化的、在锯线引导辊3的径向方向上的深度。这尤其意味着，辊壳16具有用于锯线2的、在锯线引导辊3转动时实现振动、尤其在竖直方向上即在锯线引导辊3的径向上的振动的上支承点18。为了清晰起见，在图2中用实线绘出锯线引导辊3的上位置，用虚线绘出锯线引导辊3的下位置。具有同心转动偏差 17的锯线引导辊3用于产生锯线区6在线锯I运行时的振动。 所述振动具有正好等于同心转动偏差17的振幅。所述振幅尤其位于O. 5mm至3mm的范围内。所述振动的振幅位于O.1mm至5mm的范围内、尤其O.1mm至3mm的范围内、尤其O. 5mm 至3mm的范围内、尤其O. 5mm至2mm的范围内。根据本专利技术已经证实，具有这种振幅的振动对于改善泥浆的进入是足够的，而与此同时，由同心本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于线锯（1）的锯线引导辊（3），该锯线引导辊具有a.一以能围绕辊轴（14）转动的方式被支承的辊基体（15）和b.一设置在辊基体（15）上的辊壳（16），c.其中，所述辊壳（16）这样设计，使得所述锯线引导辊（3）具有有目的的同心转动偏差（17）。

【技术特征摘要】
2011.10.13 DE 102011084454.61.一种用于线锯(I)的锯线引导辊(3)，该锯线引导辊具有 a.一以能围绕辊轴(14)转动的方式被支承的辊基体(15)和 b.一设置在棍基体(15)上的棍壳(16), c.其中，所述辊壳(16)这样设计，使得所述锯线引导辊(3)具有有目的的同心转动偏差(17)。2.根据权利要求1所述的锯线引导辊(3)，其特征在于，所述辊壳(16)在垂直于辊轴(14)的方向上具有相对于棍轴(14)非旋转对称的横截面。3.根据上述权利要求中任一项所述的锯线引导辊(3)，其特征在于，所述辊壳(16)具有非圆环形的横截面。4.根据上述权利要求中任一项所述的锯线引导辊(3)，其特征在于，所述辊壳(16)具有在径向(22)上变化的厚度(D)。5.根据上述权利要求中任一项所述的锯线引导辊(3)，其特征在于，所述辊轴(14)相对于棍基体(15)偏心地布置。6.根据上述权利要求中任一项所述的锯线引导辊(3)，其特征在于，所述辊基体(15)构造成椭圆的。7.根据上述权利要求中任一项所述的锯线引导辊(3)，其特征在于，所述辊壳(16)具有至少一个具有在辊壳(16 )圆周上变化的深度的导向沟(5 )。8.一种用于制造锯线引导辊(3)的方法，包括下面的步骤 -制备一棍，该棍具有一以能围绕棍轴(14)转动的方式被支承的棍基体(15)和一棍壳(16)， -给辊壳(16)加工沟槽， -其中，在加工沟槽时偏心地支承所述辊。9.一种用于锯割硅块(13)的线锯(1)，具有 a.多个以能围绕辊轴(14)转动的方式被支承...

【专利技术属性】
技术研发人员：C·塞弗特，
申请(专利权)人：太阳世界创新有限公司，
类型：发明
国别省市：