锯线引导辊制造技术

本发明专利技术涉及一种用于线锯（1）的锯线引导辊（3），该锯线引导辊具有一围绕辊轴（14）可转动地被支承的辊基体（15）和一设置在辊基体（15）上的辊壳（16），其中，所述辊壳（16）这样设计，使所述锯线引导辊（3）具有有目的同心转动偏差（17）。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种用于线锯/金属丝锯的锯线/金属丝引导辊和一种用于制造锯线引导辊的方法。本专利技术还涉及一种用于锯割硅块的线锯和一种用于锯割硅块的方法。
技术介绍
在生产晶圆的制造工艺中存在一工艺步骤，在该步骤中必须由硅柱切割出晶圆。 为此例如使用线锯。这种线锯例如由EP O 733 429 Al已知。一直存在对改进这种线锯的需求。
技术实现思路
本专利技术的目的在于，改进用于线锯的锯线引导辊。这个目的通过权利要求1的特征实现。本专利技术的核心在于，这样设计一锯线引导辊，使辊壳/辊套具有有目的/专设的同心转动偏差(Rundlauffehler),即，使棍壳有目的地偏离完美的同心转动(Rundlauf )。由此可以有目的地激励放置在锯线引导辊上且由锯线引导辊导引的锯线使其振动。按照本专利技术可知，由此可以更好地将也称为泥浆的磨料供应给切割缝隙。在此同心转动偏差指的是，棍壳在一垂直于棍轴的平面中具有一外圆周，其中，至少两个在该辊壳外圆周上的点具有不同的到辊轴的距离。与同心转动的偏差位于O.1mm至5mm、尤其O.1mm至3mm、尤其O. 5mm至3mm、尤其 O. 5mm至2mm的范围内。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于线锯（1）的锯线引导辊（3），该锯线引导辊具有a.一以能围绕辊轴（14）转动的方式被支承的辊基体（15）和b.一设置在辊基体（15）上的辊壳（16），c.其中，所述辊壳（16）这样设计，使得所述锯线引导辊（3）具有有目的的同心转动偏差（17）。

【技术特征摘要】
2011.10.13 DE 102011084454.61.一种用于线锯(I)的锯线引导辊(3)，该锯线引导辊具有 a.一以能围绕辊轴(14)转动的方式被支承的辊基体(15)和 b.一设置在棍基体(15)上的棍壳(16), c.其中，所述辊壳(16)这样设计，使得所述锯线引导辊(3)具有有目的的同心转动偏差(17)。2.根据权利要求1所述的锯线引导辊(3)，其特征在于，所述辊壳(16)在垂直于辊轴(14)的方向上具有相对于棍轴(14)非旋转对称的横截面。3.根据上述权利要求中任一项所述的锯线引导辊(3)，其特征在于，所述辊壳(16)具有非圆环形的横截面。4.根据上述权利要求中任一项所述的锯线引导辊(3)，其特征在于，所述辊壳(16)具有在径向(22)上变化的厚度(D)。5.根据上述权利要求中任一项所述的锯线引导辊(3)，其特征在于，所述辊轴(14)相对于棍基体(15)偏心地布置。6.根据上述权利要求中任一项所述的锯线引导辊(3)，其特征在于，所述辊基体(15)构造成椭圆的。7.根据上述权利要求中任一项所述的锯线引导辊(3)，其特征在于，所述辊壳(16)具有至少一个具有在辊壳(16 )圆周上变化的深度的导向沟(5 )。8.一种用于制造锯线引导辊(3)的方法，包括下面的步骤 -制备一棍，该棍具有一以能围绕棍轴(14)转动的方式被支承的棍基体(15)和一棍壳(16)， -给辊壳(16)加工沟槽， -其中，在加工沟槽时偏心地支承所述辊。9.一种用于锯割硅块(13)的线锯(1)，具有 a.多个以能围绕辊轴(14)转动的方式被支承...

【专利技术属性】
技术研发人员：C·塞弗特，
申请(专利权)人：太阳世界创新有限公司，
类型：发明
国别省市：