基于对称变截面柔顺机构的3-PRR微动平台制造技术

本发明专利技术公开了一种基于对称变截面柔顺机构的3-PRR微动平台，三个微位移驱动装置均安装在固定平台上，连接运动平台与固定平台的三条支链呈均匀布置，在每个支链中，杠杆放大机构通过柔性铰链与固定平台连接，对称梯形柔顺机构通过柔性铰链与杠杆放大机构连接。对称折叠簧片式柔顺机构的一端通过柔性铰链与杠杆放大机构连接，另一端通过柔性铰链与刚性连杆连接，刚性连杆通过柔性铰链连接运动平台，运动平台可实现平面三自由度微动，本发明专利技术的对称梯形柔顺机构可在弹性阻力尽量小的情况下避免驱动装置接触不完全，提高运动精度，本发明专利技术的杠杆放大机构的放大功能和对称折叠簧片式柔顺机构的低阻力特性，能够实现微动平台的大行程输出。?

【技术实现步骤摘要】

本专利技术属于先进制造中的微操作
特别涉及一种基于对称变截面柔顺机构的3-PRR微动平台。
技术介绍
随着科学技术的日益发展，航天技术、光学与光电子工程、生物医学工程、纳米科学与技术等领域迫切需要微动定位技术。目前常采用以压电元件作为驱动，以柔性铰链作为传动的组合方案，基于此研制出了各种各样的精密微动机构来实现亚微米甚至纳米级的平面定位。例如，中国专利文献公开了一种二维微动平台(201010175965. 6)，一种平面三自由度柔顺精密定位平台(201010175965.6)，二自由度微动平台能够实现平面内X、Y方向的微动，但不能实现平面内的转动，给部分微操作带来了不便。现有平面三自由度微动平台在运动输入端，微位移驱动装置直接通过柔性铰链与刚性杠杆机构连接，由于微位移驱动装置产生直线运动，表现出P副特性，与柔性铰链的R副特性不相匹配，所以压电元件会因杠杆放大机构的转动出现接触不完全的情况，势必会产生较大的输入耦合误差，影响传动精度；另一方面，现有的柔性移动副输入输出过程中，能量被过多的储存，引入了较大的弹性阻力，降低了运动行程。
技术实现思路
本专利技术的目的是在于克服现有技术本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种基于对称变截面柔顺机构的3?PRR微动平台包括：固定平台（1）、运动平台（13）、三个微位移驱动装置（2）和连接于固定平台（1）和微动平台（13）之间的三组支链，其特征在于：三个微位移驱动装置（2）均安装在固定平台（1）上，可有调节螺钉（9）调节；三条支链均匀布置在微动平台（13）外围，每个支链均包含一个对称折叠簧片式柔顺机构（8）、刚性连杆（11）、杠杆放大机构（6）以及对称梯形柔顺机构（3），刚性连杆（11）一端通过柔性铰链（12）与微动平台（13）相连，另一端通过柔性铰链（10）与杠杆放大机构（6）相连，对称梯形柔顺机构（3）两端通过分别连接固定平台（1）和杠杆放大机构（6）。

【技术特征摘要】
1.一种基于对称变截面柔顺机构的3-PRR微动平台包括固定平台(I)、运动平台 (13)、三个微位移驱动装置(2 )和连接于固定平台(I)和微动平台(13 )之间的三组支链，其特征在于三个微位移驱动装置(2)均安装在固定平台(I)上，可有调节螺钉(9)调节；三条支链均匀布置在微动平台(13)外围，每个支链均包含一个对称折叠簧片式柔顺机构(8)、 刚性连杆(11)、杠杆放大机构(6 )以及对称梯形柔顺机...

【专利技术属性】
技术研发人员：贺磊，吕传毅，黄朋涛，
申请(专利权)人：山东理工大学，
类型：发明
国别省市：