【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及MEMS矢量水听器
,特别是涉及一种MEMS矢量水听器纤毛自动化粘接装置及方法。
技术介绍
水听器又称水下传声器,是把水下声信号转换为电信号的换能器。水声是海洋中信息传播的主要载体,水下探测、定位与导航、目标识别、通信等水下作业都必须借助于水声技术来完成。作为一种重要的水下探测装置,声呐的出现在民用方面逐渐发挥重要的作用。当前的声纳系统大多采用水听器通过组阵的方式来确定被探测目标的方位,存在两方面的缺点1、成本高。目前的民用声纳系统一套约为7(Γ120万人民币,这对一般民用船只只能是望而生畏。2、性能受限。当前声纳系统要实现远距离探测,必须增大基阵尺寸,且维修不方便。要改良声呐系统,首先必须对声呐上的水听器性能进行改进,微机电系统(MEMS)矢量水听器以高性能、低成本的优势顺应了目前的发展趋势和需求。矢量水声传感器不但可以同时探测声压信号和振速信号,而且,具有宽带一致的偶极子指向性。在水声测量系统中,矢量水声传感器的采用使系统的抗干扰能力和线谱检测能力获得提高。因此,矢量水声传感器的研究工作受到国内外极大重视。随着技术的不断发展,技术需求越来 ...
【技术保护点】
一种MEMS矢量水听器纤毛自动化粘接装置,其特征在于,所述粘接装置包括:切割夹钳系统,用于切割纤毛;切割驱动系统,与所述切割夹钳系统相连,用于驱动所述切割夹钳系统;纤毛输送系统,用于输送纤毛;芯片载台运动系统,用于承载并控制MEMS矢量水听器的芯片,芯片载台运动系统设有用于存储UV胶的UV胶存储槽;紫外线固化机,用于固化MEMS矢量水听器中的UV胶;紫外光机照射头,与所述紫外线固化机相连,用于射出紫外线;电控箱,用于控制所述粘接装置的工作流程。
【技术特征摘要】
1.一种MEMS矢量水听器纤毛自动化粘接装置,其特征在于,所述粘接装置包括 切割夹钳系统,用于切割纤毛;切割驱动系统,与所述切割夹钳系统相连,用于驱动所述切割夹钳系统;纤毛输送系统,用于输送纤毛;芯片载台运动系统,用于承载并控制MEMS矢量水听器的芯片,芯片载台运动系统设有用于存储UV胶的UV胶存储槽;紫外线固化机,用于固化MEMS矢量水听器中的UV胶;紫外光机照射头,与所述紫外线固化机相连,用于射出紫外线;电控箱,用于控制所述粘接装置的工作流程。2.根据权利要求1所述的粘接装置,其特征在于,所述粘接装置还设有芯片检测系统, 包括MEMS芯片检测显微系统,用于进行芯片粘接位置的图像识别;粘接监测显微系统镜,用于监测纤毛与芯片的粘接;粘接监测显微系统镜支撑系统,用于支撑所述粘接监测显微系统镜。3.根据权利要求2所述的粘接装置,其特征在于,所述粘接位置为芯片的正中央位置。4.根据权利要求1所述的粘接装置,其特征在于,所述切割夹钳系统包括电动夹爪和与所述电动夹爪相连的夹爪头,所述夹爪头上设有用于剪断纤毛的刀片。5.根据权利要求1所述的粘接装置,其特征在于,所述纤毛输...
【专利技术属性】
技术研发人员:陈涛,陈立国,汝长海,潘明强,刘吉柱,王阳俊,王蓬勃,黄海波,王振华,张国军,孙立宁,张文栋,
申请(专利权)人:苏州大学,
类型:发明
国别省市:
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