一种用于130mm功率器件的结电容测试电路及装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种本用于130mm功率器件模块的结电容测试电路，属于功率半导体器件结电容测试装置技术领域。该电路包括三个晶体管单元、电源连接点、低电压电流连接点、地电压连接点、电阻、短路电容、电感、第Ⅰ输入电容、第Ⅰ输出电容、第Ⅰ反馈电容、第Ⅱ输入电容、第Ⅱ输出电容、第Ⅱ反馈电容，该三个晶体管单元具有源极测试点、漏极测试点和栅极测试点。本实用新型专利技术还公开了基于该用于130mm功率器件的结电容测试电路的装置。该测试电路及装置能够适用于包括3个晶体管单元、9个引脚的130mm功率器件。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及功率半导体器件结电容测试装置
，特别涉及一种三单元130mm功率器件的结电容测试电路及装置。
技术介绍
功率半导体器件器件结电容参数一般包括输入电容、输出电容、反馈电容三项内容，是反应器件结构特性、动态时间参数的重要指标。按照测试条件要求，测试时需要根据参数在器件中的结构特性的不同，连接不同的测试线路，同时，外接旁路电容、旁路电阻等无源器件元件，对器件管脚施加直流电压及高频信号来测试相应的电容参数。现有技术中，测试功率半导体器件结电容的方法一般为用测试探头或者鳄鱼夹在被测器件和电感电容电阻(LCR)测试仪之间连接电路，采用该方法进行测试时，针对不同的被测结电容参数，需要使用不同的测试电路，不仅测试工作繁琐，而且测试效率低。为解决上述问题，申请号为201120221050. 4公开了一种功率半导体器件结电容测试装置，包括结电容测试电路板，该结电容测试电路板包括两个电容测试点，其中，第一输入电容测试点通过短路电容与电源连接点相连，电源连接点与漏极测试点相连，第二输入电容测试点通过偏置电感接地；反馈电容测试点接地；输出电容测试点与栅极测试点相连，并通过阻断电阻与源极测试点本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于130mm功率器件模块的结电容测试电路，其特征在于，包括：?三个晶体管单元、电源连接点、低电压电流连接点、地电压连接点、电阻、短路电容、电感、第Ⅰ输入电容、第Ⅰ输出电容、第Ⅰ反馈电容、第Ⅱ输入电容、第Ⅱ输出电容、第Ⅱ反馈电容，所述三个晶体管单元具有源极测试点、漏极测试点和栅极测试点；?所述漏极测试点连接于所述电源连接点，所述栅极测试点连接于所述低电压电流连接点，所述源极测试点连接于所述电阻的一端，所述电阻的另一端连接于所述低电压电流连接点，所述第Ⅰ输入电容通过所述短路电容连接于所述电源连接点，所述第Ⅰ输出电容和第Ⅰ反馈电容悬空设置，所述第Ⅱ输入电容通过所述电感连接于所述地电压连接点，所...

【技术特征摘要】
1.一种用于130mm功率器件模块的结电容测试电路，其特征在于，包括三个晶体管单元、电源连接点、低电压电流连接点、地电压连接点、电阻、短路电容、电感、第I输入电容、第I输出电容、第I反馈电容、第II输入电容、第II输出电容、第II反馈电容，所述三个晶体管单元具有源极测试点、漏极测试点和栅极测试点；所述漏极测试点连接于所述电源连接点，所述栅极测试点连接于所述低电压电流连接点，所述源极测试点连接于所述电阻的一端，所述电阻的另一端连接于所述低电压电流连接点，所述第I输入电容通过所述短路电容连接于所述电源连接点，所述第I输出电容和第I反馈电容悬空设置，所述第II输入电容通过所述电感连接于所述地电压连接点，所述第II输出电容连接于所述低电压电流连接点，所述第II反馈电容连接于所述地电压连接2.根据权利要求1所述的测试电路，其特征在于，所述源极测试点由所述三个晶体管单元各自的源极相连形成。3.根据权利要求1所述的测试电路，其特征在于，所述漏极测试点由所述三个晶体管单元各自的漏极相连形成。4.根据...

【专利技术属性】
技术研发人员：高振鹏，朱阳军，陆江，胡爱斌，佘超群，成星，
申请(专利权)人：中国科学院微电子研究所，
类型：实用新型
国别省市：