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本实用新型公开了一种本用于130mm功率器件模块的结电容测试电路，属于功率半导体器件结电容测试装置技术领域。该电路包括三个晶体管单元、电源连接点、低电压电流连接点、地电压连接点、电阻、短路电容、电感、第Ⅰ输入电容、第Ⅰ输出电容、第Ⅰ反馈电容...
该专利属于中国科学院微电子研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院微电子研究所授权不得商用。

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