【技术实现步骤摘要】
本技术涉及一种磁性流体真空轴封的轴芯结构，由将该轴芯主体轴径加大加长进而可加装一个以上轴承轴承(又称培林)，让使用者可将此轴芯主体应用于溅镀设备上，以分散因溅镀设备运转时所产生的重负荷，而达到提升轴芯主体的使用寿命并降低因磁性流体真空轴封漏气所造成的整个机台内的溅镀损失及产能停产的损失的目的的磁性流体真空轴封的轴芯结构。
技术介绍
派度技术的原理主要是利用辉光放电(glowdis-charge)将U1气(Ar)离子撞击革巴(tar-get)表面，靶材的原子被弹出而堆积在基板表面形成薄膜，其性质、均匀度都比以往蒸镀技术来的好。溅镀设备几乎都使用强力磁铁将电子成螺旋状运动以加速靶材周围的氩 气离子化，造成靶与氩气离子间的撞击机率增加，提高溅镀速率，通过撞击将使靶材的物质飞出而沉积在基板上形成薄膜，因此，溅镀设备中的重要组件便是当中的承载机构-磁性流体真空轴封。大多数磁性流体真空轴封因长时间操作都需要定期保养(如更换轴承及磁液和清洗等)，然而虽有定期的保养，轴承(又称培林)的寿命因负载过重仍然过短，一但轴承(又称培林)损坏就必须全部更换。因此，如何提供一个可增加轴承(又称培林)寿命，来达到减少因磁性流体真空轴封漏气所造成的整个机台内的溅镀损失及产能停产的损失的目的，是专利技术人所要解决的课题。
技术实现思路
本技术专利技术人经过多年研究，终于研发出此可以利用加大及加宽轴芯主体的轴径来达到多加装轴承(又称培林)而达到增长使用寿命的目的的磁性流体真空轴封的轴芯结构。本技术磁性流体真空轴封的轴芯结构，其为一个轴芯主体，其特征在于该轴芯主体轴径加大及加宽，进而可加装一个以上的...
【技术保护点】
一种磁性流体真空轴封的轴芯结构，其为一个轴芯主体，其特征在于，该轴芯主体上端与下端比中间部分宽。
【技术特征摘要】
2011.06.27 TW 1002117121.一种磁性流体真空轴封的轴芯结构，其为一个轴芯主体，其特征在于，该轴芯主体上端与下端比中间部分宽。2.根据权利要求1所述的磁性流体真空轴封的轴芯结构，其特征在于，该轴芯主体上端与下端的轴径加宽可随实际需要而加长。3.根据...
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