蚀刻及电浆表面处理制作高效能太阳能电池金属背电极制造技术

技术编号:8535053 阅读:203 留言:0更新日期:2013-04-04 19:19
本发明专利技术为蚀刻及电浆表面处理制作高效能太阳能电池金属背电极,主要是采用酸碱水溶液蚀刻及电浆轰击机制原理,使其表面形成平滑凹凸形绒状结构,增加入射光到达背电极后反射光散射之方向性,提升光在吸收层的行进距离,以增加太阳能电池发电效率。先取得一个基板,利用溅镀方法镀制金属背电极膜。镀制完金属背电极后,将其金属背电极基板进行蚀刻处理,使其表面形成凹凸形的岛状结构,其目的在于增加金属背电极的表面积,提升光反射后行进角度分布,增加光在太阳能组件内行径距离;接下来再进行电将轰击薄膜表面,减少光损失,大大提升太阳能电池有效光源。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术是一种可大大增加入射光到达背电极后反射光散射之方向性,提升光在吸收层的行进距离,提高太阳能效率,其主要目的采用酸碱水溶液蚀刻机制原理及电浆表面处哩,在其薄膜表面侵蚀后形成平滑的凹凸形绒状结构,增加入射光到达背电极后反射光散射之方向性,提升光在吸收层的行进距离,以增加太阳能电池发电效率。
技术介绍
在第一道制程为镀制背电极结构的太阳能电池,因为并不像先镀制前电极的太阳能电池有透明导电玻璃有texture(绒状)表面,所以缺乏光在组件内部散射、增加光行进距离的结构,若要提高散射率,需在电池入光前加装散射装置,成本相当高。如能改善此缺点,便能有效提升整体效率。 专利技术说明 本专利技术主要是采用酸碱水溶液蚀刻及电浆轰击机制原理,使其表面形成平滑凹凸形绒状结构,增加入射光到达背电极后反射光散射之方向性,提升光在吸收层的行进距离,以增加太阳能电池发电效率。先取得一个基板,利用溅镀方法镀制金属背电极膜。镀制完金属背电极后,将其金属背电极基板进行蚀刻处理,使其表面形成凹凸形的岛状结构,其目的在于增加金属背电极的表面积,提升光反射后行进角度分布,增加光在太阳能组件内行径距离;接下来再进行电将轰击薄膜表面,减少光损失,大大提升太阳能电池有效光源。具体实施方法 吾将本专利技术搭配附图,详细说明如下图1为本本专利技术平滑凹凸形绒状结构背电极镀制之示意图,由图中可得知,一开始取得一基板(I),将其放入溅镀真空腔体内,首先镀制上高导电薄膜金属背电极(2),之后将其金属背电极基板置入蚀刻槽中进行侵蚀薄膜表面(3),此行为,使其玻膜表面形成凹凸形的岛状结构,产生了许多额外的表面积;接着将试片送入真空腔体内,使用气体电浆轰击,进行表面电浆处理,使其金属背电极表面平滑(4),减少光在表面反射时,因薄膜表面粗糙而造成光损失。图2为本专利技术平滑凹凸形绒状结构背电极之光行进路线图,当光遇到背电极反射时(2),未经过平滑凹凸形绒状结构(5)时,行进间散射角度分布较窄;相对于光经由膜层之平滑凹凸形绒状结构(6)时,由于增加光接触表面积,大大提升光散射角度分布,能提高光在于组件内行进距离,且有较低的光损失,有效增加入射光之利用率,提升太阳能产业进争能力。以上说明,对本专利技术而言只是说明性的,非限制性的,本领域普通技术人员理解,在不脱离权利要求所限定的精神和范围的情况下,可作出许多修正、变化或等效,但都将落入本专利技术的保护范围之内。附图说明下面为结合附图对本专利技术进一步说明,图1为本专利技术平滑凹凸形绒状结构背电极镀制之示意图。图2为本专利技术平滑凹凸形绒状结构背电极之光行进路线之示意图。图标主要符号说明1…基板2…金属反射层3…凹凸形绒状结构4…平滑凹凸形绒状结构背电极层5…光行走非平滑凹凸形绒状结构背电极层之行进路线6 …光行走本专利技术平滑凹凸形绒状结构背电极层之行进路线。本文档来自技高网...

【技术保护点】
本专利技术主要是采用酸碱水溶液蚀刻及电浆轰击机制原理,使其表面形成平滑凹凸形绒状结构,增加入射光到达背电极后反射光散射之方向性,提升光在吸收层的行进距离,以增加太阳能电池发电效率,先取得一个基板,利用溅镀方法镀制金属背电极膜,镀制完金属背电极后,将其金属背电极基板进行蚀刻处理,使其表面形成凹凸形的岛状结构,其目的在于增加金属背电极的表面积,提升光反射后行进角度分布,增加光在太阳能组件内行径距离;接下来再进行电将轰击薄膜表面,减少光损失,大大提升太阳能电池有效光源。

【技术特征摘要】
1.本发明主要是采用酸碱水溶液蚀刻及电浆轰击机制原理,使其表面形成平滑凹凸形绒状结构,增加入射光到达背电极后反射光散射之方向性,提升光在吸收层的行进距离,以增加太阳能电池发电效率,先取得一个基板,利用溅镀方法镀制金属背电极膜,镀制完金属背电极后,将其金属背电极基板进行蚀刻处理,使其表面形成凹凸形的岛状结构,其目的在于增加金属背电极的表面积,提升光反射后行进角度分布,增加光在太阳能组件内行径距离;接下来再进行电将轰击薄膜表面,减少光损失,大大提升太阳能电池有效光源。2.根据权利要求1所述的一种蚀刻及电浆表面处...

【专利技术属性】
技术研发人员:简唯伦刘幼海刘吉人
申请(专利权)人:吉富新能源科技上海有限公司
类型:发明
国别省市:

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