一种CVD在线镀功能膜废气干法净化装置制造方法及图纸

技术编号:8530009 阅读:197 留言:0更新日期:2013-04-04 11:50
本发明专利技术涉及一种CVD在线镀功能膜废气干法净化装置,包括:气源管道H,在气源管道H的前端依次设有燃烧室(2)和超高温静电除尘器(4),在管道的末端设有活性炭纤维净化器(8),其特征在于还包括:在管道上还设置了干式脱酸装置(5)和布袋除尘器(7)。本发明专利技术的优点:本发明专利技术提供的装置采用干法净化法,消除了现有湿法净化装置产生水污染的隐患,降低了运行成本,提高了设备的使用寿命;本装置应用前景广泛,对于成分复杂,温度较高有腐蚀性的废气,无论可燃或者不可燃,都能进行充分高效的净化处理;本装置能同时处理高温、酸性、含尘及含重金属等镀膜废气,且净化效率高,能达到99.99%以上的净化效率。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术及一种工业废气处理系统,特别涉及一种CVD在线镀功能膜废气干法净化>J-U装直。
技术介绍
近年来,随着城市工业的不断发展,大气污染日益严重,空气质量进一步恶化,环境问题已成为全球性的问题。CVD在线镀功能膜生产过程中会产生大量的废气,该废气成分比较复杂、浓度较高、温度较高并具有强腐蚀性,对环境和人体的危害很大。必须进行净化处理才能安全排放,这就要求CVD在线镀功能膜废气的净化系统稳定性能好、安全高效、运行成本低、能满足连续生产处理要求、能处理高温高腐蚀性且成分复杂的废气且处理过程中避免其他污染的产生。目前CVD在线镀膜废气常用的净化系统有湿法净化系统、冷凝回收法净化系统和生物法净化系统等,其中湿法净化系统,是最为常用的一种处理方法,它具有去除效率高、处理工艺成熟等优点,但在净化系统中存在碱液喷淋塔装置,该装置使用大量的碱液来去除废气中的酸性气体,在去除酸性气体以后又会产生水处理的问题,无形中提高了成本。因为有液体的加入也会使废气中的酸气变成酸液,这就造成了对净化设备的腐蚀,降低了其使用寿命,也影响了浮法玻璃在线镀功能膜的正常生产。冷凝回收法通过将操作温度控制在VO本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种CVD在线镀功能膜废气干法净化装置,包括气源管道H,在气源管道H上连接变频废气风机(1),气源管道H连接燃烧室(2),在燃烧室(2)上设有燃烧器(3),燃烧室(2)通过管道连接超高温静电除尘器(4),超高温静电除尘器(4)通过管道连接活性炭纤维净化器(8),活性炭纤维净化器(8)通过管道连接引风机(9),其特征在于还包括:a、在超高温静电除尘器(4)与活性炭纤维净化器(8)之间的管道上还依次设置了干式脱酸装置(5)和布袋除尘器(7),干式脱酸器(5)的侧端口D通过管道连接布袋除尘器(7)的端口E,干式脱酸装置(5)的下端口A通过管道与超高温静电除尘器(4)的端口B相连接,干式脱酸器(5)的...

【技术特征摘要】
1.一种CVD在线镀功能膜废气干法净化装置,包括气源管道H,在气源管道H上连接变频废气风机(I),气源管道H连接燃烧室(2 ),在燃烧室(2 )上设有燃烧器(3 ),燃烧室(2 )通过管道连接超高温静电除尘器(4),超高温静电除尘器(4)通过管道连接活性炭纤维净化器(8 ),活性炭纤维净化器(8 )通过管道连接引风机(9 ),其特征在于还包括a、在超高温静电除尘器(4)与活性炭纤维净化器(8)之间的管道上还依次设置了干式脱酸装置(5)和布袋除尘器(7),干式脱酸器(5)的侧端口 D通过管道连接布袋除尘器(7) ...

【专利技术属性】
技术研发人员:彭寿单传丽甘治平王东石丽芬金良茂张家林
申请(专利权)人:蚌埠玻璃工业设计研究院中国建材国际工程集团有限公司
类型:发明
国别省市:

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