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本发明涉及一种CVD在线镀功能膜废气干法净化装置，包括：气源管道H，在气源管道H的前端依次设有燃烧室（2）和超高温静电除尘器（4），在管道的末端设有活性炭纤维净化器（8），其特征在于还包括：在管道上还设置了干式脱酸装置（5）和布袋除尘器（7...该专利属于蚌埠玻璃工业设计研究院;中国建材国际工程集团有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过蚌埠玻璃工业设计研究院;中国建材国际工程集团有限公司授权不得商用。