【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种蓝宝石晶体退火工艺,属于人工蓝宝石生产
技术介绍
蓝宝石晶体的生长环境温度在2000°C以上,在生长完成后,需对蓝宝石晶体进行退火冷却,传统退火工艺需要6-7天左右,而且传统的退火工艺中,退火温度控制模糊,温降过程不受控制,极易出现因炉内降温速度过快而造成晶体应力开裂;或炉内降温速度过慢而导致退火时间延长,生产效率底下且成本增加。阶段性的退火,使得晶体在高温区时缓慢退火,降低了晶体缺陷,而且在低温区对晶体影响不大的情况下,快速退火降低生产成本
技术实现思路
本专利技术目的就在于克服上述不足,提供一种蓝宝石晶体退火工艺。为实现上述目的,本专利技术是通过以下技术方案来实现 一种蓝宝石晶体退火工艺,所述的蓝宝石晶体退火工艺包括以下步骤 第一步高温阶段,炉内温度采用每小时下降15°C -40°C速度降温,直至炉内温度降至1600 0C ; 第二步中温阶段,炉内温度采用每小时下降60°C -80°C速度降温,直至炉内温度降至500 0C ; 第三步低温阶段,关闭炉内加热设备,同时向炉内充入惰性气体冷却至室温即可。蓝宝石单晶生长结束后即蓝宝石单晶生长炉内进行退火。惰性气体压力值为1-L 5个标准大气压。本专利技术的有益效果是1、退火时间短,耗能低,较传统退火方法可节省10%左右时间且耗能减少10%提高了生产效率。2、降温均匀迅速,避免蓝宝石晶体应力开裂,提升了产品质量及成品率。具体实施例方式下面结合实施例对本专利技术进一步说明 实施例1: 蓝宝石单晶生长结束后即在蓝宝石单晶生长炉内进行退火。第一步高温阶段,对蓝宝石炉温度采用每小 ...
【技术保护点】
一种蓝宝石晶体退火工艺,其特征在于所述的蓝宝石晶体退火工艺包括以下步骤:第一步:高温阶段,炉内温度采用每小时下降15℃?40℃速度降温,直至炉内温度降至1600℃;第二步:中温阶段,炉内温度采用每小时下降60℃?80℃速度降温,直至炉内温度降至500℃;第三步:低温阶段,关闭炉内加热设备,同时向炉内充入惰性气体冷却至室温即可。
【技术特征摘要】
1.一种蓝宝石晶体退火工艺,其特征在于所述的蓝宝石晶体退火工艺包括以下步骤 第一步高温阶段,炉内温度采用每小时下降15°c -40°c速度降温,直至炉内温度降至1600 0C ; 第二步中温阶段,炉内温度采用每小时下降60°C -80°C速度降温,直至炉内温度降至500 0C ; 第...
【专利技术属性】
技术研发人员:刘书强,任多奇,樊国岑,于超,魏国涛,
申请(专利权)人:焦作市光源晶电科技有限公司,
类型:发明
国别省市:
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