MEMS麦克风接线板制造技术

本实用新型专利技术涉及一种MEMS麦克风接线板，其包括基板和安装在基板上的MEMS芯片，MEMS芯片上设有MEMS振膜，MEMS振膜的上方设有用于限制其过度形变的限位装置；限位装置包括设在MEMS芯片两侧的基板上的焊接衬底和焊接在两焊接衬底之间并横跨过MEMS振膜上方的至少一根焊接金线；焊接金线交叉设置两根或平行间隔设置多根；限位装置可包括横跨在MEMS振膜上方的限位板和设在MEMS芯片两侧的基板上用于安装限位板的限位板支撑台。限位装置还可为扣在MEMS振膜上方的限位罩。本实用新型专利技术结构简单，设计精巧，有效避免了MEMS振膜因过度形变而损坏的现象，从而延长了MEMS振膜的使用寿命。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种MEMS麦克风接线板，包括基板（1）和安装在基板（1）上的MEMS芯片（2），MEMS芯片（2）上设有MEMS振膜（3），其特征是所述MEMS振膜（3）的上方设有用于限制其过度形变的限位装置。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：万景明，杨少军，张继栋，
申请(专利权)人：山东共达电声股份有限公司，
类型：实用新型
国别省市：