【技术实现步骤摘要】
非接触表面微小深度自动检测仪
本技术涉及一种微小深度检测仪，尤其是一种采用光切法与数字技术相结合 的以激光为光源的自动微小深度检测仪。
技术介绍
随着材料与制造技术的发展，对装置的微小化和精密加工精度提出了越来越高的 要求，结构质量好坏直接决定了其性能高低，寻求有效的微测量手段对于产品质量的评定、 机械性能的分析和加工条件的改善都具有重要的意义，已成为国内外研究的热点之一。在 微结构三维尺寸中，高度方向尺寸相对平面尺寸的测量较为困难。测量微小深度尺寸的仪器有很多，如体视显微镜、触针式仪器、干涉仪和9J光切 仪等。采用体视显微镜测量时，根据工件形状和被测深度位置，有时需将工件切割解剖后进 行横截面的显微光学成像分析，属于静态破坏性测量。触针式仪器测量准确度高，测试稳 定，但易划伤被测表面，对测量环境要求高。干涉仪是利用光的干涉原理进行测量，具有高 的测量精度和灵敏度，但是基于该仪器结构复杂，对环境要求很高。9J光切仪是基于光切法 原理的测量仪器，但是此仪器较为笨重，不便携带，常用于实验室测量，测量过程为纯人工 操作，测量复杂，读数困难。目前还没有非接触式小型...
【技术保护点】
非接触表面微小深度自动检测仪，包括检测装置、三维电动平台和上位机，其特征在于：检测装置的正下方设置三维电动平台，三维电动平台由平台驱动器控制，平台驱动器与检测装置均与上位机信号连接；所述的检测装置包括壳体、连接杆、保护盖、导轨槽、光源系统和视觉采集系统；所述的光源系统由激光光源、+3V电池盒和电源线组成；所述的视觉采集系统由组合透镜、数字图像传感器和USB传输线组成；弧形的导轨槽设置在壳体内，导轨槽内装有连接杆，连接杆的一端固定有视觉采集系统，另一端固定有激光光源；连接杆可在导轨槽滑动，通过连接杆位置调节螺栓确定档位；所述的激光光源所在的光轴与视觉采集系统所在的光轴形成90...
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：叶怀储，裘越，王志强，余桂英，陈欢，潘璐，
申请(专利权)人：浙江省计量科学研究院，中国计量学院，
类型：实用新型
国别省市：
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