【技术实现步骤摘要】
本技术涉及一种用于电镀层表面分析的显微检测仪。
技术介绍
光学显微镜主要用于鉴定和分析表面结构组织，它是材料学等学科进行物体表面分析的重要仪器，它是研究物质材料微观结构最基本的一种实验技术。在现代显微分析中，使用的主要仪器主要有光学显微镜和电子显微镜两大类。扫描探针显微镜(SPM)具有纳米级高分辨率的优点，并可实时得到空间样品表面的三维图像，可用于具有周期性或不具备周期性的表面结构的研究，这种可实时观察的性能可用于表面扩散等动态过程的研究，可以观察纳米级别的局部表面结构，而不是体相或整个表面的平均性质，因而可直接观察到表面缺陷。综上所述，现有的光学显微镜基本是在微米级领域测量，且其观察测量的放大倍数受物镜和目镜限制，放大倍数越大，其光学效果要求越高，制作工艺也相应要求高，因此不能满足对表面微细结构的分析；而现有扫描探针显微镜(SPM)测量范围有限，并不能快速的确定待测目标并成像，需要不断地扫描图像来寻找目标，从而影响工作进度和效率。
技术实现思路
本技术的目的是提供一种用于电镀层表面分析的显微检测仪，以克服现有光学显微镜的放大倍数受物镜和目镜限制，制作工艺较高，不能快速的确定待测目标并成像，工作效率较低的不足。 本技术的目的是通过以下技术方案来实现 —种用于电镀层表面分析的显微检测仪，包括支架、电子控制装置和计算机，电子控制装置通过导线与计算机连接，所述支架的顶部设有CCD摄像装置，CCD摄像装置包括目镜和物镜转换器，物镜转换器的下部设有物镜和SPM探头，所述支架的底部设有步进马达精密调焦装置，步进马达精密调焦装置的上表面设有步进马达二维精密工作台，步进马达二维...
【技术保护点】
一种用于电镀层表面分析的显微检测仪，包括支架（１）、电子控制装置（２）和计算机（３），电子控制装置（２）通过导线与计算机（３）连接，其特征在于：所述支架（１）的顶部设有ＣＣＤ摄像装置（４），ＣＣＤ摄像装置（４）包括目镜（５）和物镜转换器（６），物镜转换器（６）的下部设有物镜（７）和ＳＰＭ探头（８），所述支架（１）的底部设有步进马达精密调焦装置（９），步进马达精密调焦装置（９）的上表面设有步进马达二维精密工作台（１０），步进马达二维精密工作台（１０）上表面的中部设有三维扫描台（１１），三维扫描台（１１）通过导线与电子控制装置（２）连接，所述支架（１）的后部设有垂直照明装置（１２）。
【技术特征摘要】
一种用于电镀层表面分析的显微检测仪，包括支架(1)、电子控制装置(2)和计算机(3)，电子控制装置(2)通过导线与计算机(3)连接，其特征在于所述支架(1)的顶部设有CCD摄像装置(4)，CCD摄像装置(4)包括目镜(5)和物镜转换器(6)，物镜转换器(6)的下部设有物镜(7)和SPM探头(...
【专利技术属性】
技术研发人员：胡志强，罗先照，
申请(专利权)人：苏州海兹思纳米科技有限公司，
类型：实用新型
国别省市：32[中国|江苏]
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