【技术实现步骤摘要】
本技术涉及太阳能电池片及半导体设备制造领域，尤其涉及太阳能和半导体制造设备中的加热炉。
技术介绍
在太阳能电池片和半导体材料制造过程中，现有的加热炉的炉壳采用保温棉外覆不锈钢钢板进行保温隔热，保温棉包覆的松紧等对炉体的性能有较大的影响。同时随着所需炉体温度的升高，需增加保温棉的厚度，炉丝产生的一部分热量被用于加热保温棉，造成升温慢和能量的浪费。同时，不断加厚的保温棉导致炉壳外径增加，炉体需要更大的安装空间。而且采用现有结构炉壳的炉体实际使用过程中控温精度一般只能达到±1°C，不能满足一些对控温精度要求较高的工艺。
技术实现思路
为了解决以上技术问题，本技术提供了一种体积小、控温精度高、热量损失小、炉体升温快的加热炉炉壳。本技术所述加热炉炉壳包括石英管及黄金层，所述黄金层镀在石英管内壁。其优点在于因黄金熔点高、反射性好，利用反射原理，黄金层可反射炉丝辐射的热量，使热量集中在石英管内部。因此采用本技术所述炉壳的炉体升温速率是现有炉体升温速率的多倍，节约了工艺时间，同时热量散失少，同功率下可达到更高的温度节约了能源；同时炉壳的直径远小于现有炉壳，减少安装空间。此外，配合炉体可使控温精度达到±0.1°c，可满足对控温精度高的工艺。所述黄金层可以是不同纯度的黄金层，也可以是其他材料。附图说明图1为本技术所述炉壳的示意图。图中各件号说明1-石英管；2-黄金层。具体实施方式结合图1，对本技术所述炉壳进行详细说明。本技术所述炉壳包括石英管I及黄金层2，所述黄金层2镀在石英管I内壁。本技术通过对透明石英管I内壁镀不同纯度的黄金，使内壁产生黄金镀层2。因黄金熔点高反射性好利用反...
【技术保护点】
一种加热炉炉壳，其特征在于它包括石英管及黄金层，所述黄金层镀在石英管内壁。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：孟令锦，
申请(专利权)人：青岛赛瑞达电子科技有限公司，
类型：实用新型
国别省市：
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