本实用新型专利技术提出一种灯泡部件安装装置，使用第一固定部件固定在机台灯室的开孔处，第二固定部件固定灯泡部件的尾部，通过推动第二固定部件使灯泡部件沿着滑道进入灯室的开孔内，不仅防止手触碰到灯泡，污染灯泡，还避免灯泡与灯室入口意外相撞导致灯泡破裂，从而使安装快捷迅速且安全。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）
【技术实现步骤摘要】
本技术涉及半导体生产领域，特别涉及一种灯泡部件安装装置。
技术介绍
在半导体生产光刻步骤中，为了提高晶圆的良率和性能等等，经常会使用各种灯光对晶圆周边表面进行照射以去除生产过程中的部分边缘缺陷，通常为紫外线照射。在包含灯光照射的机台中，由于使用的灯泡是耗材并且有寿命限制，所以在正常的机台维护中，就需要定期对灯泡进行更换。图1为光刻(lithograph)机台中使用的灯泡部件600的结构示意图(适用于HAMAMATSU/滨松公司生产的L9141-21型的灯室)，所述灯泡部件600包括灯泡610和用于固定灯泡610的手柄620，所述光刻机台的灯室具有一开孔，所述灯泡610需要通过所述开孔安装到光刻机台的灯室中，所述开孔通常只比灯泡610尺寸稍大。现有技术中，灯泡610只能靠人工用手插入开孔中才能安装到灯室中。整个安装过程手只允许触碰手柄620，并且严禁手等其他异物触碰灯泡610，防止污染灯泡610。灯泡610上任何一点小的印迹都会导致灯光的密度不均匀，温度不平衡等问题，从而导致灯泡610爆裂。然而，往往在安装的过程中，手经常会无意触碰到灯泡610，而且由于开孔较小，灯泡610在安装过程中很容易撞到开孔边缘从而导致灯泡610破碎。
技术实现思路
本技术的目的在于提出一种灯泡部件安装装置，不仅避免手等异物污染灯泡，还可避免灯泡意外撞上机台造成破裂。为了实现上述目的，本技术提出一种灯泡部件安装装置，包括滑道；第一固定部件，与所述滑道的一端固定连接，所述第一固定部件上设置有开孔；第二固定部件，带动所述灯泡部件沿所述滑道滑动，使所述灯泡部件经由所述第一固定部件的开孔进入所述灯室。进一步的，所述滑道为一凹形长条，其相对的两内侧壁上分别固定一排滚珠。进一步的，还包括一对活动滑块与一对活动楔子，所述活动楔子的一端卡入所述活动滑块内，所述活动滑块与所述滚珠滑动连接。进一步的，还包括一底盘，所述底盘与所述滑道的另一端固定连接。进一步的，所述底盘为圆盘。进一步的，所述第一固定部件包括卡位部件和顶盘，所述卡位部件与所述顶盘固定连接，所述顶盘与所述滑道的一端固定连接。进一步的，所述卡位部件为中空的圆柱体，所述中空的圆柱体上设有两个位置相对的卡口。进一步的，所述第二固定部件包括活动盘和固定盘，所述活动盘与所述固定盘固定连接。进一步的，所述活动盘包括固定手臂和活动手臂，所述固定手臂为半圆环柱体，所述活动手臂为缺角的半圆环柱体，所述活动手臂通过一第一铰链与所述固定手臂旋转连接。进一步的，所述第二固定部件还包括设置于所述活动手臂和固定手臂之间的栓子，所述栓子通过一第二铰链与所述固定盘旋转连接。进一步的，所述活动手臂与所述栓子相接触的一端设有一圆孔。进一步的，所述活动盘还包括一卡棒，所述卡棒设置于所述活动手臂上。进一步的，所述固定盘为设有一凹槽的圆盘，所述圆盘外侧壁设有两个相对的开孔。进一步的，所述活动楔子另一端伸入所述固定盘外侧壁的开孔内。进一步的，所述第二固定部件还包括一活动顶针，所述活动顶针固定于所述固定盘上，且所述活动顶针伸入至所述活动手臂的圆孔中。与现有技术相比，本技术的有益效果主要体现在使用第一固定部件固定在机台灯室的开孔处，第二固定部件固定灯泡部件的尾部，通过推动第二固定部件使灯泡部件沿着滑道进入灯室的开孔内，不仅防止手触碰到灯泡、污染灯泡，还可避免灯泡与灯室入口意外相撞导致灯泡破裂，从而使安装过程快捷迅速且安全。附图说明图1为灯泡部件的结构示意图；图2为实施例的灯泡部件安装装置的结构示意图；图3为实施例的灯泡部件安装装置的侧视图；图4为本实施例的滑道结构示意图；图5为本实施例的滑道的侧视图；图6A为实施例的活动盘关闭状态的主视图；图6B为实施例的活动盘打开状态的主视图；图7为本实施例的第一固定部件沿图6A的BB方向的剖面图；图8为本实施例的灯泡部件安装装置的左视图。具体实施方式为了便于更好的理解，下面结合具体实施例对本技术做进一步的描述。请参考图2，本技术提出的一种灯泡部件安装装置，用于将灯泡部件600安装于光刻机台的灯室中，所述灯泡部件安装装置包括滑道300 ；第一固定部件400，与所述滑道300的一端固定连接，所述第一固定部件400上设置有开孔；以及第二固定部件200，带动所述灯泡部件600沿所述滑道300滑动，使所述灯泡部件600经由所述第一固定部件400的开孔进入所述灯室。请参考图4及图5，在本实施例中，所述滑道300为一凹形长条，其相对的两内侧壁上分别固定一排滚珠320。所述灯泡部件安装装置还包括一对活动滑块330与一对活动楔子310，所述活动楔子310的一端卡入所述活动滑块330内，所述活动滑块330与所述滚珠320滑动连接。进一步的，所述灯泡部件安装装置还包括一底盘100，所述底盘100与所述滑道300的另一端固定连接；所述底盘100为圆盘。所述滚珠320可以自由转动，有利于活动滑块330带动活动楔子310在滑道300上自由滑动。请参考图3，在本实施例中，所述第一固定部件400包括卡位部件420和顶盘410，所述卡位部件420与所述顶盘410固定连接，所述顶盘410与所述滑道300的一端固定连接。具体地说，所述卡位部件420为中空的圆柱体，所述中空的圆柱体上设有两个位置相对的卡口 430。通过旋转卡位部件420使卡口 430卡在灯室的开孔外，从而将整个灯泡部件安装装置固定在灯室外，便于后续安装灯泡部件600。所述第二固定部件200还包括活动盘210和固定盘220，所述活动盘210与所述固定盘220固定连接。请参考图6A及图6B，所述活动盘210包括固定手臂212和活动手臂211，所述固定手臂212为半圆环柱体或接近于半圆环柱体，所述活动手臂211大致为缺角 的半圆环柱体，所述活动手臂211通过第一铰链215与所述固定手臂212旋转连接；所述活动手臂211能够以第一铰链215为支点进行转动，打开活动盘210，从而便于安装灯泡部件600，使灯泡部件600的尾端手柄620置于活动盘210的内。请参考图7，在本实施例中，所述第二固定部件200还包括设置于所述活动手臂211和固定手臂212之间的栓子214，所述栓子214通过第二铰链223与所述固定盘220旋转连接。所述栓子214以第二铰链223为支点可以旋转打开。所述栓子214用来卡住所述灯泡部件600的尾端手柄620，使灯泡部件600固定牢固，防止摇晃，利于安装。在本实施例中,所述活动盘220还包括一^^棒213,所述卡棒213设置于所述活动手臂211上。所述卡棒213是为了卡住灯泡部件600尾端手柄620的卡槽内，防止灯泡部件600旋转。所述卡棒213优选为圆柱体。请参考图6A及图6B,所述活动手臂211为设有一凹槽的圆盘,所述活动手臂211外侧壁设有两个相对的开孔216。请参考图8，所述活动楔子310另一端伸入所述活动手臂211外侧壁的开孔216内，使得第一固定部件200可以随着活动楔子310在滑道300上自由滑动。请参考图3,在本实施例中,所述第二固定部件200还包括一活动顶针221,所述活动顶针221固定于所述固定盘220上，且所述活动顶针221用来顶住所述活动手臂211，使活动手臂211可以卡住灯泡部件600。结合图2本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种灯泡部件安装装置，用于将灯泡部件安装于灯室中，其特征在于，包括：滑道；第一固定部件，与所述滑道的一端固定连接，所述第一固定部件上设置有开孔；第二固定部件，带动所述灯泡部件沿所述滑道滑动，使所述灯泡部件经由所述第一固定部件的开孔进入所述灯室。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：赵轩，潘贤俊，张伟，
申请(专利权)人：中芯国际集成电路制造北京有限公司，
类型：实用新型
国别省市：
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