【技术实现步骤摘要】
本技术涉及半导体生产领域，特别涉及一种灯泡部件安装装置。
技术介绍
在半导体生产光刻步骤中，为了提高晶圆的良率和性能等等，经常会使用各种灯光对晶圆周边表面进行照射以去除生产过程中的部分边缘缺陷，通常为紫外线照射。在包含灯光照射的机台中，由于使用的灯泡是耗材并且有寿命限制，所以在正常的机台维护中，就需要定期对灯泡进行更换。图1为光刻(lithograph)机台中使用的灯泡部件600的结构示意图(适用于HAMAMATSU/滨松公司生产的L9141-21型的灯室)，所述灯泡部件600包括灯泡610和用于固定灯泡610的手柄620，所述光刻机台的灯室具有一开孔，所述灯泡610需要通过所述开孔安装到光刻机台的灯室中，所述开孔通常只比灯泡610尺寸稍大。现有技术中，灯泡610只能靠人工用手插入开孔中才能安装到灯室中。整个安装过程手只允许触碰手柄620，并且严禁手等其他异物触碰灯泡610，防止污染灯泡610。灯泡610上任何一点小的印迹都会导致灯光的密度不均匀，温度不平衡等问题，从而导致灯泡610爆裂。然而，往往在安装的过程中，手经常会无意触碰到灯泡610，而且由于开孔较小，...
【技术保护点】
一种灯泡部件安装装置，用于将灯泡部件安装于灯室中，其特征在于，包括：滑道；第一固定部件，与所述滑道的一端固定连接，所述第一固定部件上设置有开孔；第二固定部件，带动所述灯泡部件沿所述滑道滑动，使所述灯泡部件经由所述第一固定部件的开孔进入所述灯室。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：赵轩，潘贤俊，张伟，
申请(专利权)人：中芯国际集成电路制造北京有限公司，
类型：实用新型
国别省市：
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