一种防止气体反冲的装置以及金属有机化学气相沉积设备制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种防止气体反冲的装置以及金属有机化学气相沉积设备，该装置包含进气部分、和进气部分相连的主体部分、以及和主体部分相连的排气部分；进气部分内设有进气通道，主体部分内设有主体通道，排气部分内设有排气通道；主体通道分别与进气通道、排气通道相连通，以使气体进入进气通道后经过主体通道再由排气通道排出；主体通道内设有一组第一挡板和一组第二挡板，第一挡板和第二挡板相对设置。金属有机化学气相沉积设备包含反应腔，抽气泵和该防止气体反冲的装置。本实用新型专利技术在气流气压出现波动或者尾气端压力高于反应腔中压力时，阻止回流反冲的气体携带颗粒等反应副产物进入反应区域，保证反应区域的清洁。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种金属有机化学气相沉积（MOCVD）设备，具体地，涉及一种可应用于该MOCVD设备的防止气体反冲的装置。 
技术介绍
在目前的气相沉积设备，如金属有机化学气相沉积（Metal-organic Chemical Vapor Deposition，MOCVD）设备中，由于反应过程不充分导致MOCVD设备的尾气端会产生大量的颗粒等反应副产物，对于MOCVD设备而言，反应腔中腔体的清洁程度对于外延材料的质量非常重要。要防止尾气端的颗粒等反应副产物不至于在腔体压力切换时或者是尾气端压力高于腔体内反应区域压力的情况下倒灌进入反应区域，目前采用的一种办法是采用软件互锁来控制尾气管道的闭合，当尾气端压力高于反应腔的腔体内反应区域压力时，压力传感器把信号传给控制软件，控制软件经过判断后相应地控制阀门把尾气管道关闭，禁止气体流通进而防止倒灌。此方法能防止气体的反流，但是本申请专利技术人发现，事实上即使在反应区域压力高于尾气端压力的情况下，如果压力出现了快速的切换甚至是管道关闭的瞬间都会出现气流的紊乱，从而导致颗粒等反应副产物在反冲气流的作用下从尾气管道回冲到MOCVD设备的反应腔里面。 
技术实现思路
本技术的目的是提供一种用于防止尾气端产生的颗粒等反应副产物反冲到反应区域的装置，保证反应区域的清洁度。 为了达到上述目的，本技术一个实施例提供了一种防止气体反冲的装置，该装置包含进气部分、和进气部分相连的主体部分、以及和主体部分相连的排气部分;所述的进气部分内设有进气通道，主体部分内设有主体通道，排气部分内设有排气通道；所述的主体通道分别与进气通道、排气通道相连通，以使气体进入进气通道后经过主体通道再由排气通道排出；所述的主体通道内设有一组第一挡板和一组第二挡板，所述的第一挡板和第二挡板相对设置。 上述的防止气体反冲的装置，其中，所述的一组第一挡板包含若干个平行或大致平行的第一挡板，所述的一组第二挡板包括若干个平行或大致平行的第二挡板。 上述的防止气体反冲的装置，其中，所述的第一挡板和第二挡板交错排列。 上述的防止气体反冲的装置，其中，所述的主体通道优选为柱状通道。 上述的防止气体反冲的装置，其中，所述的第一挡板向主体通道中心延伸的方向和气体在主体通道内的流通主方向之间形成第一夹角，该第一夹角为锐角或直角；所述的第二挡板向主体通道中心延伸的方向和气体在主体通道内的流通主方向之间形成第二夹角，该第二夹角为锐角或直角。 上述的防止气体反冲的装置，其中，所述的第一挡板为活动挡板，在反冲气流的作用下，第一夹角能够增大；和/或：所述的第二挡板为活动挡板，在反冲气流的作用下，第二夹角能够增大。 上述的防止气体反冲的装置，其中，所述的第一挡板和第二挡板分别安装在所述主体通道的内壁上。 上述的防止气体反冲的装置，其中，所述的第一挡板和第二挡板以能够拆卸的结构分别安装在所述主体通道的内壁上。 上述的防止气体反冲的装置，其中，所述的排气部分与所述的主体部分的一端的侧面相连，所述的主体部分邻近排气部分的一端还设有与主体通道连通的开口，以及能够封闭和打开该开口的底板。 上述的防止气体反冲的装置，其中，所述的第一挡板或第二档板的面积不小于主体通道横截面面积的一半。 本技术另一个实施例还提供了一种金属有机化学气相沉积设备，包含反应腔，抽气泵和上述的防止气体反冲的装置，其中该装置所述的进气部分与所述的反应腔相连通，所述的排气部分与所述抽气泵相连通；在抽气泵作用下，反应气体从反应腔流出后经过该装置再由抽气泵排出。 本技术提供的防止气体反冲的装置以及包括该装置的金属有机化学气相沉积设备具有以下优点： 该装置内部设有挡板，即使有气流出现回流或反冲现象，被气流带起的悬浮颗粒物也会在挡板的下部滞留而不容易直接冲到反应区域，保证了反应区域的清洁度，可以有效地延长MOCVD设备的维护周期，进而降低维护成本。附图说明图1为本技术一个实施例中防止气体反冲的装置的平面剖视示意图。 图2为本技术一个实施例中防止气体反冲的装置的立体剖视示意图。 图3为本技术另一个实施例中防止气体反冲的装置的立体剖示示意图。 图4为本技术一个实施例中设有底板的防止气体反冲的装置的的结构示意图。 图5为本技术的一个实施例中设有可拆卸挡板的防止气体反冲的装置结构示意图。 图6本技术一个实施例中金属有机化学气相沉积设备的结构示意图。 具体实施方式以下结合附图对本技术的具体实施方式作进一步地说明。 如图1所示，本技术一个实施例提供的防止气体反冲的装置包括进气部分1、和进气部分1相连的主体部分2、以及和主体部分2相连的排气部分3，进气部分1设有进气通道11，主体部分2设有主体通道21，排气部分3设有排气通道31，主体通道21和进气通道11相连通，排气通道31和主体通道21相连通，以使气体例如MOCVD反应腔排出的气体进入进气通道11后经过主体通道21由排气通道31排出。主体通道21内设有一组第一挡板4和一组第二挡板5，第一挡板4和第二挡板5相对排列。本技术提供的防止气体反冲的装置，主要是在主体通道内增加挡板，使颗粒等反应副产物从反应腔内流出并通过该装置后，若气流气压发生波动或者尾气端压力高于反应腔内压力的时候，回流反冲的气体即反冲气流不至于带起颗粒等反应副产物进入反应腔中的反应区域，进而保证了反应区域的清洁。 主体通道21可以是规则的形状或者不规则的形状，如图2和图3所示，作为一种优选的方式，主体通道21大致呈柱状，例如圆柱体，长方体等。为实现较好的遮挡效果，优选地，第一挡板4或第二档板5的面积至少为主体通道21横截面面积的一半，以圆柱体为例，如图1所示，第一挡板4向主体通道21延伸并通过该主体的中心线，这样可以更好地起到遮挡反冲气流的作用。本技术提供的防止气体反冲的装置，可以有效阻挡携带颗粒等反应副产物的尾气反冲，避免倒灌进入反应区域。基于本方案的类似想法均属于本专利的保护范围，例如把第一挡板和第二挡板做成活页的形式，在气体反冲时候第一挡板和第二挡板可以活动，甚至可以完全封闭主体通道；又例如把主体通道的形状做成为方形，五角，六角及其他规则或者不规则形状的。 以主体通道21大致呈柱状为例进行说明，MOCVD设备反应腔排出的尾气进入防止气体反冲的装置后，若没有挡板，不难理解，气流将沿着主体通道21侧壁流动，流动方向和防止气体反冲的装置的中心线平行或者大致平行。而在设有挡板时，气流沿着挡板设定的路径进行流动，大致为波浪线，但气流流动方向的主要趋势很明确，本实施例中将此主要趋势称为气流在主体通道21流通时的主方向（或称为气体在主体通道21内的流通主方向），设置挡板时气流在主体通道21流通时的主方向和没有挡板时气流的方向一致或者基本一致。参见图4所示，在一个实施例中，气流在主体通道21流通时的主方向从上往下，和防止气体反冲的装置的中心线平行或者大致平行。 具体地，一组第一挡板本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种防止气体反冲的装置，其特征在于，该装置包含进气部分（1）、和进气部分（1）相连的主体部分（2）、以及和主体部分（2）相连的排气部分（3）；所述的进气部分（1）内设有进气通道（11），主体部分（2）内设有主体通道（21），排气部分（3）内设有排气通道（31）；所述的主体通道（21）分别与进气通道（11）、排气通道（31）相连通，以使气体进入进气通道（11）后经过主体通道（21）再由排气通道（31）排出；所述的主体通道（21）内设有一组第一挡板（4）和一组第二挡板（5），所述的第一挡板（4）和第二挡板（5）相对设置。

【技术特征摘要】
1. 一种防止气体反冲的装置，其特征在于，该装置包含进气部分（1）、和进气部分（1）相连的主体部分（2）、以及和主体部分（2）相连的排气部分（3）；
所述的进气部分（1）内设有进气通道（11），主体部分（2）内设有主体通道（21），排气部分（3）内设有排气通道（31）；
所述的主体通道（21）分别与进气通道（11）、排气通道（31）相连通，以使气体进入进气通道（11）后经过主体通道（21）再由排气通道（31）排出；
所述的主体通道（21）内设有一组第一挡板（4）和一组第二挡板（5），所述的第一挡板（4）和第二挡板（5）相对设置。
2. 如权利要求1所述的装置，其特征在于，所述的一组第一挡板（4）包含若干个平行或大致平行的第一挡板（4），所述的一组第二挡板（5）包括若干个平行或大致平行的第二挡板（5）。
3. 如权利要求2所述的装置，其特征在于，所述的第一挡板（4）和第二挡板（5）交错排列。
4. 如权利要求2所述的装置，其特征在于，所述的主体通道（21）为柱状通道。
5. 如权利要求4所述的装置，其特征在于，所述的第一挡板（4）向主体通道（21）中心延伸的方向和气体在主体通道（21）内的流通主方向之间形成第一夹角（α），第一夹角（α）为锐角或直角；所述的第二挡板（5）向主体通道（21）中心延伸的方向和气体在主体通道（21）内的流通主方向之间形成第二夹角（β），第二...

【专利技术属性】
技术研发人员：李淼，金文彬，张伟，徐春阳，陈凯辉，
申请(专利权)人：中晟光电设备上海有限公司，
类型：实用新型
国别省市：