本发明专利技术提供一种光拾波器装置所搭载的透镜，其具备由光吸收造成的透射率的降低小且波长405nm附近、波长660nm附近、波长785nm附近这三个波长的透射率满足97％的防反射膜。并且，具备在波长380～410nm、波长640～670nm、波长770～800nm三个波长区域下使用的防反射膜的光拾波器装置所搭载的透镜，其防反射膜由两层以上的高折射率材料层和低折射率材料层的多层的膜所构成，光吸收率高的所述高折射率材料层，被低折射率材料层、空气、透镜的任意一个夹隔，使所述高折射率材料层的合计膜厚为50nm以下，使波长410nm以下的光的吸收率为1％以下。
【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及光拾波器装置所搭载的透镜，涉及配备有在三个波长区域具有适当的 透射率的防反射膜的光拾波器装置所搭载的透镜。
技术介绍
在光拾波器用的准直透镜和物镜等一般的透镜中，为了提高透射率和耐光性而附 着防反射膜。在3种波长用的防反射膜等、使390 430nm的波长的光束和630 800nm 的波长的光束的反射得以防止的防反射膜中，提出有反射率极小值在上述390 430nm和 630 SOOnm附近这两处具有极小值的防反射膜。另外近年来，也公开有在双层构造的防反 射膜中、在390 430nm和630 800nm这两处能够具有极小值的情形，双层的这种防反射 膜具有制造上有利等优点。但是，这样的防反射膜，各层的膜变厚。在专利文献I中，在表I至表3中，介绍了 几个在光拾波器透镜所常用的使用了 Ta2O5和SiO2的防反射膜的例子。使用了 Ta2O5和SiO2 的防反射膜，多是从耐光性的观点出发而被常用的光学材料。若调查专利文献I的防反射膜Ta2O5膜的合计的厚度，则在专利文献I的实施例1中为121. 34nm，在实施例3中为149. 36nm，在实施例4中为139. 6nm，在实施例6中为 127. 36nm，在实施例7中为154. 25nm，在实施例8中为146. 56nm，在实施例14中为152. 66 和131. 13nm，为IOOnm以上。另外，因为透镜的面为两面，所以若将这些防反射膜附着在两 面，则Ta2O5膜的合计的厚度为200nm以上。可是，根据防反射膜的材料，已知存在因材料造成的光吸收。在图13中示出作为 实验条件I的防反射膜的膜厚。容易发生光吸收的高折射率材料的Ta2O5膜的膜厚，在Rl 面为 129. 68nm，在 R2 面为 157. 14nm。图14中示出实验条件I的透射率，图15中示出实验条件I的Rl面侧的反射率， 图16中示出实验条件I的R2面侧的反射率。读取了图14至图16的刻度的值在图17中示 出。根据图17，波长405nm的防反射膜的透射率其设计值为98. 38%、其实测值为91. 92%， 波长660nm的透射率其设计值为97. 61 %、其实测值为97. 84%，波长780nm的透射率其设 计值为98. 15%、其实测值为97.90%。波长660nm和波长780nm下，透射率的设计值与实 测值的差在O. 3 %以内，如设计这样的透射率的值出现，但在波长405nm下，设计值与实测 值的差为6.46%。在此，透射率与Rl面侧的反射率和R2面侧的反射率相加应该为100%。若试着看 波长405nm下的反射率，则Rl面侧的反射率的实测值为1. 96%,R2面侧的反射率的实测值 为3. 46%。若将其合计则为97. 33%，有2. 67%的不清楚的量。这被认为是由于防反射膜 材料的光吸收造成的透射率的降低。接着，在图18作为实验条件2示出反射率的膜厚。容易发生光吸收的高折射率材 料的Ta2O5膜的膜厚，在Rl面为150nm，在R2面为50nm。图19中示出实验条件2的透射率，图20中示出实验条件2的Rl面侧的反射率，图21中示出实验条件2的R2面侧的反射率。读取了图19至图21的刻度的值在图22中示出。 根据图22，波长405nm下透射率其设计值为98. 92 %、其实测值为98. 26 %，波长660nm下透射率其设计值为98. 80%、其实测值为98. 09%，波长780nm下透射率其设计值为97. 44%, 其实测值为96. 43%。在图22中，波长405nm、波长660nm、波长780nm的波长的防反射膜材料的光吸收造成的透射率的降低量(吸收率)分别为O. 85%,O. 30%,O. 53，波长405nm、波长660nm、波长780nm的全部的波长下，透射率的设计值和实测值的差在1. O %以内，能够得到大致如设计那样的透射率。根据以上的结果，在高折射率材料的膜厚为厚的透镜中，短波长的405nm下发生光的吸收。此外将上述实验条件I和实验条件2的结果汇总示出在图23中。因为认为吸收量与膜的厚度成比例，所以由上述实验I和2可知如下关系成立吸收率(％ ) = O. 0098X高折射率材料膜厚(nm)(式I)先行技术文献专利文献专利文献I特开2005-38581号公报在上述现有技术的防反射膜中，Ta2O5膜的合计的厚度在单面为IOOnm以上。另外，因为透镜其面有两面，所以若将这些防反射膜附着在两面，则Ta2O5膜的合计的厚度为 200nm以上，不能获得3种波长下的透射率适当的光拾波器装置所搭载的透镜。
技术实现思路
本专利技术其目的在于，提供一种光拾波器装置所搭载的透镜，其具备由光吸收造成的透射率的降低小至1%且波长405nm附近、波长660nm附近、波长785nm附近这三个波长的透射率在单面下满足97%的防反射膜。为了解决上述课题，本专利技术的光拾波器装置所搭载的透镜，是具备在三个波长区域下使用的防反射膜的光拾波器装置所搭载的透镜，其特征在于，所述防反射膜由两层以上的高折射率材料层和低折射率材料层的多层的膜所构成，且所述高折射率材料层的合计膜厚为50nm以下，并且在波长410nm以下的光的吸收率为1%以下。还有，若由高折射率材料层只有一层所构成的防反射膜，想要得到97%以上的透射率，则高折射率材料的膜厚为IOOnm以上。本专利技术的光拾波器装置所搭载的透镜，是具备在波长380 410nm、波长640 670nm、波长770 SOOnm三个波长区域下使用的防反射膜的光拾波器装置所搭载的透镜， 其特征在于，所述防反射膜由两层以上的高折射率材料层和低折射率材料层的多层的膜所构成；光吸收率高的所述高折射率材料层，被所述低折射率材料层、空气、透镜的任意一个夹隔，且所述高折射率材料层的合计膜厚为50nm以下，所述防反射膜在波长380 410nm、 波长640 670nm、波长770 800nm各个波长区域上光吸收率为1%以下。另外，本专利技术的光拾波器装置所搭载的透镜，其特征在于，所述防反射膜由所述高折射率材料层和所述低折射率材料层的五层以上的膜所构成。另外，本专利技术的光拾波器装置所搭载的透镜，其特征在于，所述防反射膜由低折射率材料的SiO的低折射率材料层、低折射率材料的SiO2的低折射率材料层、高折射率材料的Ta2O5的高折射率材料层这三种层所形成。另外，本专利技术的光拾波器装置所搭载的透镜，优选所述防反射膜的透射率在波长 405nm、660nm、波长785nm这三个波长下，分别在两面为97%以上。另外，本专利技术的光拾波器装置所搭载的透镜，优选所述防反射膜的透射率在波长 405nm、660nm、波长785nm这三个波长下，分别在两面为96%以上。另外，本专利技术的光拾波器装置所搭载的透镜，其特征在于，是准直透镜或耦合透镜。在防反射膜中，一般来说，在透镜的第一面和透镜的第二面这两面附着防反射膜， 在两面的膜厚下为200nm。在这样的防反射膜中，由材料造成的光的吸收大，在实际的透镜 中不能获得设计上所得到的透射率。因此在本专利技术的防反射膜中，其设计方式为，使两层以上的高折射率材料层的合 计膜厚为50nm以下。若高折射率材料由一层构成，膜厚为50nm以下，则不能使波长405nm附近、波长 660nm附近、波长78本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种光拾波器装置所搭载的透镜，其具备在三个波长区域下使用的、且在入射面和出射面分别设置的防反射膜，其特征在于，所述防反射膜由两层以上的高折射率材料层和低折射率材料层的多层的膜所构成，且所述高折射率材料层的合计膜厚分别为50nm以下，并且所述防反射膜在波长410nm以下的光的吸收率为1％以下。
【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：水口麻美，清水孝行，杉靖幸，
申请(专利权)人：日立麦克赛尔株式会社，
类型：发明
国别省市：
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