【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及半导体直流参数测量模块组快速校准装置，保证半导体直流参数测量模块测量值准确，属于半导体测试
技术介绍
IS09001质量管理体系和测量管理IS0/IEC17025 (检测和校准实验室通用要求) 都对测量设备的校准提出了要求认为通过正确的校准使得测量可以溯源到国际单位制或公认的国际标准是测量结果可信性的基础。半导体直流参数测量模块用来检测半导体产品参数，并评定半导体产品性能和质量，半导体直流参数测量模块测量的准确性、可靠性直接影响半导体产品的质量，而校准是保证半导体直流参数测量模块正确性及有效性的重要手段，半导体直流参数测量模块精度高、结构复杂，传统的校准方法繁琐，时间长；专业校准板价格昂贵，如果每年都要做一次校准，费用较高，因此设计开发半导体直流参数测量模块快速校准装置，可以实现快速校准，节省成本。
技术实现思路
本专利技术的目的就是解决半导体直流参数测量模块组的快速校准，节省校准成本， 提高效率。本专利技术所采用的技术方案是基于半导体直流参数通道参数测量单元模块、电源测量模块；本专利技术的半导体直流参数测量模块快速校准装置组装在带有多个插槽...
【技术保护点】
半导体直流参数测量模块组快速校准装置，其特征在于包括如下：?半导体直流参数通道参数测量单元模块、电源测量模块；?半导体直流参数通道参数测量单元模块、电源测量模块组装在带有多个插槽的装置上，模块组上方安装有测量板，测量板的触点与模块组的弹簧针对接，测量板将模块组的所有通道引出，通过多选一的多路开关、高速继电器与外部测量设备数字多用表的“+”端连接，测量板的地与数字多用表的“?”端连接，同时连接校准用的标准可调电阻器；?快速校准装置测试板上有4个定位孔，背面有触点。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：石志刚，孙昕，金兰，吉国凡，
申请(专利权)人：北京确安科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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