螺钉的制造方法技术

提供可以容易地形成期望的空心孔，可以获得加工性良好的螺钉的螺钉制造方法。该螺钉的制造方法例如包括通过挤压成形来制造包含金属粉末的成形体的工序（Ａ）（１Ａ），对成形体进行脱脂的工序（Ｂ）（３Ａ），和烧结脱脂体并获得烧结体的工序（Ｃ）（４Ａ），在工序（Ａ）结束后不久，实施包括螺纹加工的机械加工。此处，本发明专利技术的螺钉的制造方法将工序③分成预烧结（一次烧结）和主烧结（二次烧结）来进行，通过对预烧结后的一次烧结体实施包括螺纹加工的机械加工，也可以制造螺钉。（*该技术在2020年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及利用烧结体的螺钉制造方法。在半导体制造装置内部使用的螺钉处于高真空环境中，但在所述螺钉的前端部分和所述装置侧的阴螺纹部分之间如果螺钉固定时的空气残留下来，那么就存在该空气泄漏在保持预定高真空的装置内(漏泄)，使真空度下降的问题。作为该问题的解决方法，可列举出通过使用带有贯通螺钉整个长度的空心孔，通过空心孔排出螺钉前端部分的残留空气的方法。在这样的螺钉中，空心孔由钻孔加工和放电加工来形成。在钻孔加工的情况下，就形成细孔来说，必须有与孔径对应的细钻孔，但在需要很大力的钻孔加工中，细钻孔的强度和耐久性方面容易产生问题。特别就形成长孔来说，由于钻孔变长，所以更容易折断，此外，钻孔的振动也变大，使钻孔容易破损。此外，在放电加工的情况下，就形成细孔来说，与其它加工方法相比，可以比较容易形成细孔，但加工成本上升，螺钉变得昂贵。此外，形成长孔在放电加工装置的限制上有困难。而且，在螺钉的原材料为难加工材料的情况下，就上述两种加工方法来说，不可能完成或必然需要比通常更多的时间和劳动力。如以上说明，就以往的来说，存在对空心孔的直径和长度有限制，并且受限于适当材料的缺点。本专利技术的目的本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种螺钉的制造方法，其特征在于，它包括： 使用包含原料粉末的混合物，通过挤压成形以成形带有空心孔的棒状成形体的工序（Ａ）； 对所述成形体进行脱脂的工序（Ｂ）；和 烧结所述脱脂体获得烧结体的工序（Ｃ）； 在所述工序（Ａ）结束后，实施包括至少一次螺纹加工的机械加工。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：坂田正昭，林纯一，
申请(专利权)人：印杰克斯有限公司，
类型：发明
国别省市：JP[日本]