【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种生长氧化锌纳米线阵列的制备方法，其特征在于，它包括如下步骤：A．氧化锌种子层的制备：采用原子层沉积技术在基片上制备氧化锌种子层，具体方法如下：将原子层沉积系统内腔温度升到40～200℃，打开腔体，将基片放入腔内，腔体内压强降到25hPa以下，用惰性气体清洗反应腔；将锌前驱体通入反应腔，脉冲时间在0.05～6秒；之后通入惰性气体清洗未反应的前驱体，脉冲时间为1～60秒，然后通入氧前驱体，脉冲时间为0.05～6秒；之后用惰性气体清洗未反应的氧前驱体，完成一个沉积氧化锌的循环；如此重复，在基片表面沉积50～1000个循环的氧化锌层；马弗炉中300～800℃退火1～10小时；B...
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：葛美英，尹桂林，姜来新，汪元元，何丹农，
申请(专利权)人：上海纳米技术及应用国家工程研究中心有限公司，
类型：发明
国别省市：
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