裸片拾取装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供一种裸片拾取装置，其能够使粘贴到切割片上的裸片的片剥离所需的时间变短而缩短节拍时间。剥离台(18)的片吸引孔(40)由以下构成：第1吸引孔(41)，对本次要拾取的裸片(21)的粘贴部分进行片剥离以能够拾取该裸片(21)；第2吸引孔(42)，对下一要拾取的裸片(21)的粘贴部分的一部分预备性地进行片剥离，每当通过吸附嘴(30)拾取片剥离后的裸片(21)时，使剥离台(18)向下一要拾取的裸片(21)的粘贴部分的近前侧移动，使该剥离台(18)滑动至该裸片(21)的粘贴部分的正下方而通过第1吸引孔(41)对该裸片(21)的粘贴部分进行片剥离以能够拾取该裸片(21)，并且通过第2吸引孔(42)对该裸片(21)之后要拾取的裸片(21)的粘贴部分的一部分预备性地进行片剥离。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种裸片拾取装置，其在通过吸附嘴拾取粘贴到切割片上的裸片时，对通过吸附嘴拾取的裸片的粘贴部分从切割片的下表面侧吸引并将该裸片的粘贴部分进行片剥离。
技术介绍
在剥离粘贴到切割片上的裸片的方式中，包括顶起剥离方式和滑动剥离方式。在顶起剥离方式中，如专利文献I (日本特开2010-129949号公报)所述，用吸附嘴对从粘贴了切割为棋盘格状的晶圆且能够伸缩的切割片上的晶圆分割出的裸片进行吸附并拾取时，对切割片中的要吸附的裸片的粘贴部分从其正下方用顶起瓶顶起，将该裸片的粘贴部分从 切割片部分剥离的同时，用吸附嘴吸附该裸片，从切割片拾取。但是，当裸片较薄易破裂时，在上述顶起剥离方式中，裸片可能破裂，因此使用滑动剥离方式。在滑动剥离方式中，如专利文献2(日本特许第3209736号公报)所述，具有拾取粘贴了多个裸片的切割片上的裸片的吸附嘴(筒)及具有片吸引孔的剥离台，通过吸附嘴吸附保持切割片上的裸片的同时，使剥离台的片吸引孔从该裸片的粘贴部分的近前侧向该裸片的粘贴部分的正下方滑动，从而对该裸片的粘贴部分逐渐进行片剥离。专利文献I :日本特开2010-129949号公报专利文献2 日本特许3209736号公报
技术实现思路
为了缩短拾取装置的节拍时间，加快片剥离速度并缩短片剥离所需的时间较为有效，但在上述专利文献2所述的滑动剥离方式下，因对较薄易破裂的裸片进行片剥离，所以加快剥离台的滑动速度时，较薄的裸片可能破裂，或片剥离可能失败。为防止该片剥离的失败，增大吸引力即可，但增大吸引力时，较薄的裸片变得易破裂，所以无法增大吸引力。因此存在以下缺点无法加快剥离台的滑动速度，片剥离所需的时间变长，裸片拾取装置的节拍时间变长。因此，本技术要解决的课题是，提供一种能够使片剥离所需的时间变短并缩短节拍时间的裸片拾取装置。为解决上述课题，技术方案I涉及的技术是一种裸片拾取装置，具有吸附嘴，拾取切割片上的裸片，该切割片上粘贴了将晶圆切割为棋盘格状而形成的多个裸片；剥离台，从上述切割片的下表面侧吸引要通过上述吸附嘴拾取的裸片的粘贴部分，而对该裸片的粘贴部分进行片剥离；剥离台驱动单元，驱动上述剥离台，上述剥离台具有吸引上述切割片的片吸引孔，通过上述吸附嘴吸附保持上述切割片上的裸片，且使上述剥离台从该裸片的粘贴部分的近前侧滑动至该裸片的粘贴部分的正下方，从而通过上述片吸引孔对该裸片的粘贴部分逐渐进行片剥离，其中，上述片吸引孔由以下构成第I吸引孔，对本次要拾取的裸片的粘贴部分进行片剥离以能够拾取该裸片;第2吸引孔，对下一要拾取的裸片的粘贴部分的一部分预备性地进行片剥离，上述剥离台驱动单元，每当通过上述吸附嘴拾取片剥离后的裸片时，使上述剥离台向下一要拾取的裸片的粘贴部分的近前侧移动，使该剥离台滑动至该裸片的粘贴部分的正下方而通过上述第I吸引孔对该裸片的粘贴部分进行片剥离以能够拾取该裸片，并且通过上述第2吸引孔对该裸片之后要拾取的裸片的粘贴部分的一部分预备性地进行片剥离。在该构成中，剥离台的片吸引孔除了具有对本次拾取的裸片的粘贴部分进行片剥离的第I吸引孔外，还具有对下一要拾取的裸片的粘贴部分的一部分进行预备性片剥离的第2吸引孔，因此在将本次拾取的裸片的粘贴部分用第I吸引孔进行片剥离时，可同时对下一要拾取的裸片的粘贴部分的一部分用第2吸引孔预备性地进行片剥离。由此，对各裸片的粘贴部分分别进行2次片剥离动作，因此和现有技术那样以I次片剥离动作对各裸片的粘贴部分进行片剥离时相比，即使加快剥离台的滑动速度，也可确保片剥离性能，并且可将吸引力设定得较小以避免使裸片破裂。由此，可使片剥离所需的时间较短，缩短节拍时间。本技术中，也可将使剥离台从裸片的粘贴部分的近前侧向该裸片的粘贴部分 的正下方滑动的速度设为一定速度，但本次拾取的裸片的粘贴部分通过上一次的片剥离动作预备性地进行了片剥离，因此如技术方案2所示，使剥离台从裸片的粘贴部分的近前侧滑动时，使在通过上一次片剥离动作预备性地进行了片剥离的部分的滑动速度比在未剥离部分的滑动速度快。若如此，则可仅在未通过上一次片剥离动作预备性地进行了片剥离的未剥离部分减缓剥离台的滑动速度，可缓慢地进行片剥离，因此可有效缩短片剥离所需的时间，可缩短节拍时间。本技术中，通过第2吸引孔进行的预备性片剥离可仅对一个裸片的粘贴部分进行，也可以如技术方案3所示，第2吸引孔形成为，对多个裸片的粘贴部分的一部分分别预备性地进行片剥离，并且使得拾取顺序靠后的裸片的片剥离面积较小。若如此，则可提高片剥离性能。并且，如技术方案4所示，在第I吸引孔及第2吸引孔中，可分别在滑动方向侧的边缘部设有凸部。若如此，则可通过凸部使片剥离的裸片的粘贴部分浮起的同时进行片剥离，可提高片剥离性能。本技术中，对第I吸引孔和第2吸引孔可分别通过I个孔形成，也可通过多个孔形成。第I吸引孔和第2吸引孔分别通过I个孔形成时，如技术方案5所示，第I吸引孔及第2吸引孔形成为以L字状连接，该第I吸引孔相比该第2吸引孔向滑动方向突出。此时，通过第I吸引孔的滑动方向侧端部的位置和第2吸引孔的滑动方向侧端部的位置的偏差量，决定以第2吸引孔预备性地进行片剥离的面积，例如，使第I吸引孔的滑动方向侧端部的位置相比第2吸引孔的滑动方向侧端部的位置以裸片的滑动方向长度的1/2尺寸偏移时，预备性地进行片剥离的面积是裸片的粘贴面积的约1/2。附图说明图I是本技术的实施例I中的裸片拾取装置的立体图。图2是设置了实施例I的裸片拾取装置的零件安装机的立体图。图3是表示实施例I的裸片的片剥离的滑动动作开始时的状态(省略切割片的图示)的立体图。图4是表示实施例I的裸片的片剥离的滑动动作结束时的状态(省略了切割片的图示)的立体图。图5是说明实施例I的切割片上的各裸片、剥离台的第I吸引孔和第2吸引孔的位置关系的俯视图。图6是表示实施例I的裸片的片剥离的滑动动作的中途的状态的局部放大剖面图。图7是说明实施例2中的切割片上的各裸片、剥离台的第I吸引孔和第2吸引孔的位置关系的俯视图。图8是说明实施例3中的切割片上的各裸片、剥离台的第I吸引孔和第2吸引孔的位置关系的俯视图。具体实施方式以下说明将用于实施本技术的方式具体化的3个实施例I 3。[实施例I]参照图I至图6说明本技术的实施例I。如图I所示，本实施例的裸片拾取装置11为具备料仓保持部12 (托板塔)、托板拉出台13、托板拉出机构14、辅助机械手15、穿梭机构16、翻转机构17、剥离台18(参照图3 图6)、NG传送带19、嘴更换器20等的结构。该裸片拾取装置11如图2所示，设置为将托板拉出台13插入到零件安装机25的送料器设置用槽中的状态。在能够上下移动地收容于裸片拾取装置11的料仓保持部12内的料仓中，能够分多层混合搭载放置有裸片21的晶圆托板22、及放置有托盘零件的托盘托板(未图示)。晶圆托板22的构成是，将粘贴有切割成棋盘格状的晶圆(多个裸片21)的能够伸缩的切割片29(参照图6)在展开的状态下安装到具有圆形开口部的晶圆安装板23，通过螺旋夹等将该晶圆安装板23安装到托板主体28上。此外，切割片29的展开可以通过任意方法进行，例如，将切割片29从下方以利用圆形环顶起的状态安装到晶圆安装板23即可。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种裸片拾取装置，具有：吸附嘴，拾取切割片上的裸片，该切割片上粘贴了将晶圆切割为棋盘格状而形成的多个裸片；剥离台，从上述切割片的下表面侧吸引要通过上述吸附嘴拾取的裸片的粘贴部分，而对该裸片的粘贴部分进行片剥离；剥离台驱动单元，驱动上述剥离台，上述剥离台具有吸引上述切割片的片吸引孔，通过上述吸附嘴吸附保持上述切割片上的裸片，且使上述剥离台从该裸片的粘贴部分的近前侧滑动至该裸片的粘贴部分的正下方，从而通过上述片吸引孔对该裸片的粘贴部分逐渐进行片剥离，其特征在于，上述片吸引孔由以下构成：第1吸引孔，对本次要拾取的裸片的粘贴部分进行片剥离以能够拾取该裸片；第2吸引孔，对下一要拾取的裸片的粘贴部分的一部分预备性地进行片剥离，上述剥离台驱动单元，每当通过上述吸附嘴拾取上述切割片上的裸片时，使上述剥离台向下一要拾取的裸片的粘贴部分的近前侧移动，使该剥离台滑动至该裸片的粘贴部分的正下方而通过上述第1吸引孔对该裸片的粘贴部分进行片剥离以能够拾取该裸片，并且通过上述第2吸引孔对该裸片之后要拾取的裸片的粘贴部分的一部分预备性地进行片剥离。

【技术特征摘要】
2011.02.14 JP 2011-0281961.一种裸片拾取装置，具有吸附嘴，拾取切割片上的裸片，该切割片上粘贴了将晶圆切割为棋盘格状而形成的多个裸片；剥离台，从上述切割片的下表面侧吸引要通过上述吸附嘴拾取的裸片的粘贴部分，而对该裸片的粘贴部分进行片剥离；剥离台驱动单元，驱动上述剥离台，上述剥离台具有吸引上述切割片的片吸引孔，通过上述吸附嘴吸附保持上述切割片上的裸片，且使上述剥离台从该裸片的粘贴部分的近前侧滑动至该裸片的粘贴部分的正下方，从而通过上述片吸引孔对该裸片的粘贴部分逐渐进行片剥离，其特征在于， 上述片吸引孔由以下构成第I吸引孔，对本次要拾取的裸片的粘贴部分进行片剥离以能够拾取该裸片;第2吸引孔，对下一要拾取的裸片的粘贴部分的一部分预备性地进行片剥离， 上述剥离台驱动单元，每当通过上述吸附嘴拾取上述切割片上的裸片时，使上述剥离台向下一要拾取的裸片的粘贴部分的近前侧移动，使...

【专利技术属性】
技术研发人员：岩城范明，滨根刚，
申请(专利权)人：富士机械制造株式会社，
类型：实用新型
国别省市：