裸片拾取装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供一种裸片拾取装置，其能够使粘贴到切割片上的裸片的片剥离所需的时间变短而缩短节拍时间。剥离台(18)的片吸引孔(40)由以下构成：第1吸引孔(41)，对本次要拾取的裸片(21)的粘贴部分进行片剥离以能够拾取该裸片(21)；第2吸引孔(42)，对下一要拾取的裸片(21)的粘贴部分的一部分预备性地进行片剥离，每当通过吸附嘴(30)拾取片剥离后的裸片(21)时，使剥离台(18)向下一要拾取的裸片(21)的粘贴部分的近前侧移动，使该剥离台(18)滑动至该裸片(21)的粘贴部分的正下方而通过第1吸引孔(41)对该裸片(21)的粘贴部分进行片剥离以能够拾取该裸片(21)，并且通过第2吸引孔(42)对该裸片(21)之后要拾取的裸片(21)的粘贴部分的一部分预备性地进行片剥离。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种裸片拾取装置，其在通过吸附嘴拾取粘贴到切割片上的裸片时，对通过吸附嘴拾取的裸片的粘贴部分从切割片的下表面侧吸引并将该裸片的粘贴部分进行片剥离。
技术介绍
在剥离粘贴到切割片上的裸片的方式中，包括顶起剥离方式和滑动剥离方式。在顶起剥离方式中，如专利文献I (日本特开2010-129949号公报)所述，用吸附嘴对从粘贴了切割为棋盘格状的晶圆且能够伸缩的切割片上的晶圆分割出的裸片进行吸附并拾取时，对切割片中的要吸附的裸片的粘贴部分从其正下方用顶起瓶顶起，将该裸片的粘贴部分从 切割片部分剥离的同时，用吸附嘴吸附该裸片，从切割片拾取。但是，当裸片较薄易破裂时，在上述顶起剥离方式中，裸片可能破裂，因此使用滑动剥离方式。在滑动剥离方式中，如专利文献2(日本特许第3209736号公报)所述，具有拾取粘贴了多个裸片的切割片上的裸片的吸附嘴(筒)及具有片吸引孔的剥离台，通过吸附嘴吸附保持切割片上的裸片的同时，使剥离台的片吸引孔从该裸片的粘贴部分的近前侧向该裸片的粘贴部分的正下方滑动，从而对该裸片的粘贴部分逐渐进行片剥离。专利文献I :日本特开2010-129949号公报专利文献2 日本本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种裸片拾取装置，具有：吸附嘴，拾取切割片上的裸片，该切割片上粘贴了将晶圆切割为棋盘格状而形成的多个裸片；剥离台，从上述切割片的下表面侧吸引要通过上述吸附嘴拾取的裸片的粘贴部分，而对该裸片的粘贴部分进行片剥离；剥离台驱动单元，驱动上述剥离台，上述剥离台具有吸引上述切割片的片吸引孔，通过上述吸附嘴吸附保持上述切割片上的裸片，且使上述剥离台从该裸片的粘贴部分的近前侧滑动至该裸片的粘贴部分的正下方，从而通过上述片吸引孔对该裸片的粘贴部分逐渐进行片剥离，其特征在于，上述片吸引孔由以下构成：第1吸引孔，对本次要拾取的裸片的粘贴部分进行片剥离以能够拾取该裸片；第2吸引孔，对下一要拾取的裸片的粘贴部分的一部...

【技术特征摘要】
2011.02.14 JP 2011-0281961.一种裸片拾取装置，具有吸附嘴，拾取切割片上的裸片，该切割片上粘贴了将晶圆切割为棋盘格状而形成的多个裸片；剥离台，从上述切割片的下表面侧吸引要通过上述吸附嘴拾取的裸片的粘贴部分，而对该裸片的粘贴部分进行片剥离；剥离台驱动单元，驱动上述剥离台，上述剥离台具有吸引上述切割片的片吸引孔，通过上述吸附嘴吸附保持上述切割片上的裸片，且使上述剥离台从该裸片的粘贴部分的近前侧滑动至该裸片的粘贴部分的正下方，从而通过上述片吸引孔对该裸片的粘贴部分逐渐进行片剥离，其特征在于， 上述片吸引孔由以下构成第I吸引孔，对本次要拾取的裸片的粘贴部分进行片剥离以能够拾取该裸片;第2吸引孔，对下一要拾取的裸片的粘贴部分的一部分预备性地进行片剥离， 上述剥离台驱动单元，每当通过上述吸附嘴拾取上述切割片上的裸片时，使上述剥离台向下一要拾取的裸片的粘贴部分的近前侧移动，使...

【专利技术属性】
技术研发人员：岩城范明，滨根刚，
申请(专利权)人：富士机械制造株式会社，
类型：实用新型
国别省市：