带流路板的制造方法、带流路板、温度调节板、冷板及淋浴板技术

本发明专利技术提供一种带流路板等，其能够比现有技术缩短加工时间，且能够抑制流路的泄漏、污染。带流路板是在板的内部形成有供流体流通的流路的带流路板，其具备：由金属或合金形成、并设有作为流路的槽的主体板；覆盖上述槽的盖板；及通过将金属或合金的粉体与气体一起加速，并在固相状态下朝向主体板及盖板喷涂而形成的覆盖盖板的堆积层。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及一种在半导体、液晶显示装置或光盘等的制造工艺中，在基板的温度或气体供给等中使用的带流路板的制造方法、带流路板、温度调节板、冷板及淋浴板。
技术介绍
在半导体、液晶显示装置或光盘等的制造中的各种基板工艺中，使用调节基板温度的温度调节板(冷板等)或使用向基板供给具有规定成分的气体的淋浴板。这些温度调节板或淋浴板一般具有在铝或铝合金等金属板的内部设有使热介质或气体流通的流路的构造(例如，参照专利文献I 3)。这样的带流路板目前是通过如下方法制造的在金属板主体上通过镗削加工等形成流路，将封盖该流路的另外的金属板(例如，押板)重合在上述金属板主体的流路侧，通过熔接加工或钎焊或利用粘结剂将两者接合或粘结起来而制造。现有技术文献专利文献专利文献I :实开昭62-172977号公报专利文献2 日本特开2006-329439号公报专利文献3 日本特开2006-299294号公报但是，根据这样的现有的制造方法，由于钎焊料的放置和钎焊时间，或熔接用的填充剂的放置要花费时间，所以需要较多的制造工时数。另外，在熔接中，由于对母材施加高温的热，还存在因热变形引起的看错(目違P )或底切(了 &g本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：花待年彦，
申请(专利权)人：日本发条株式会社，
类型：
国别省市：