玻璃基板端面的评价方法及玻璃基板端面的加工方法以及玻璃基板技术

本发明专利技术提供能够正确评价玻璃基板的端面的特性的玻璃基板端面的评价方法及基于该评价方法的玻璃基板端面的加工方法以及基于该加工方法，能够减少玻璃基板端面的尘埃附着的玻璃基板，并且基于该加工方法，能够防止在倒角面产生烧伤、崩裂、缺口等缺点的玻璃基板。根据本发明专利技术，对利用激光显微镜（14）拍摄到的端面（Z）的图像进行白黑二值化处理，将端面存在的凹部作为白图像，将端面的镜面作为黑图像进行识别，而且，基于白图像的面积相对于黑图像的面积的比率，评价玻璃基板的端面的特性。根据该评价方法，与精度的可靠性依赖于端面（Z）存在的凹部的大小的现有触针式粗糙度仪进行的评价方法相比较，能够更正确地评价玻璃基板（G）的端面（Z）的特性。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及作为FPD (Flat Panel Display :平板显示器)用所使用的玻璃基板端面的评价方法及玻璃基板端面的加工方法以及玻璃基板。
技术介绍
在液晶显示器或等离子显示器等中所使用的Fro用玻璃基板，在制造工序中，其端面利用研磨部件进行倒角加工。被倒角的玻璃基板的端面形状根据倒角砂轮的形状被大致分为具有如图24A所示的单一的曲面Rl的端面形状和具有如图24B所示的平坦部E和两个曲率相等的曲面R2、R2的端面形状。另外，在同图中表示有将被倒角的端面放大后的剖面，符号G为玻璃基板。然而，公知的是在玻璃基板的端面的粗糙度大的情况下，其端面易附着碎玻璃等尘埃。因附着于端面的尘埃有可能会在制造显示器时再次附着于基板面上，所以希望减小端面的粗糙度。例如，在专利文献I中将玻璃基板端面的粗糙度Ra值规定为O. 25 μ m以下，另外， 专利文献2中将Ra值规定为O. I μ m，从而抑制端面的尘埃附着。这种玻璃基板端面的粗糙度测量如专利文献2所记载，使用具备触针的触针式的表面粗糙度仪来实施。另一方面，玻璃基板会因端面的倒角形状而在端面产生烧伤、崩裂、缺口等缺陷， 因此关于倒角形状还在进行研究。例如，在专利文献3中提出了关于硬盘用基板的外周端面的倒角形状的专利技术。专利文献3的目的是防止由碳基板或玻璃基板等脆性材料制造的硬盘用基板的基板主体在其处理时成为残次品。具体地说，是防止基板主体的外周端面与输送用盒接触时产生外周端面的损伤、缺口等缺陷。为了实现上述目的，在专利文献3中还公开了一种磁记录媒体用基板，该磁记录媒体用基板是在外径为65mm的基板主体中，将基板主体的外周端面的倒角部加工为圆形， 该圆形的倒角部由具有唯一半径的圆形状形成侧部，将圆半径R设定为t/2以上2t以下 (t :基板主体的板厚)。另外，在专利文献I中，也公开了一种磁记录媒体用基板，该磁记录媒体用基板的倒角部在基板的上下具有不同的圆形，且它们的半径Rl、R2分别设定为不足t/2 ο专利文献I:日本国专利第4370611号公报专利文献2:日本国特开2002 — 160147号公报专利文献3:日本国特开平9 - 102122号公报
技术实现思路
专利技术所要解决的课题利用触针式的表面粗糙度仪测量玻璃基板端面的现有玻璃基板端面的评价方法，有时触针的前端未进入玻璃基板端面存在的微细的凹部而是跳过凹部。因此，存在难以正确地评价玻璃基板端面的特性的问题。即，利用触针式的表面粗糙度仪评价玻璃基板端面的特性的方法，由于其可靠性依赖于凹部的大小，因此不是可靠性高的方法。另一方面，若为尺寸大的玻璃基板时，会产生在尺寸小的磁记录媒体用基板中不可设想的问题。该问题是在倒角加工时，在玻璃基板的端面产生的烧伤。这种烧伤在如专利文献3所公开的小尺寸的硬盘基板的倒角加工时难以产生， 而在400mmX300mm以上的大小的FPD用玻璃基板将产生。S卩，随着研磨部件相对于玻璃基板的端面的相对的行进距离变长，烧伤发生的频次处于增加的倾向。尤其是大小为 1200mmX IlOOmm以上的玻璃基板，烧伤问题产生的频次增加。另外，在端面形状较差的情况下，不用说在倒角加工中产生的所述烧伤，崩裂的产生也增多，成为阻碍玻璃基板的生产率的主要原因。另外，根据上述烧伤及崩裂的程度不同还可能成为玻璃基板发生破坏的原因。另外，在端面形状较差的情况下，还存在在加工的端面产生缺口这种问题。本专利技术是鉴于这种事情而作出的，其目的在于，能够提供一种能够正确地评价玻璃基板的端面的特性的玻璃基板端面的评价方法及基于该评价方法的玻璃基板端面的加工方法、以及基于该加工方法可减少玻璃基板端面的尘埃附着的玻璃基板，并且提供基于该加工方法，可以防止在倒角面产生烧伤、崩裂、缺口等缺陷的玻璃基板。解决课题用的方法为了实现所述目的，本专利技术提供一种玻璃基板端面的评价方法，其特征在于，利用摄像单元拍摄玻璃基板的端面的规定的区域，通过对该拍摄到的图像进行白黑二值化处理，将所述端面存在的凹部识别为白图像，将所述端面的成为镜面的平坦部识别为黑图像， 基于所述白图像的面积相对于所述黑图像的面积的比率，评价玻璃基板的端面的特性。本专利技术的评价方法提供一种使用了激光显微镜等摄像单元的评价方法。根据本专利技术，对利用摄像单元拍摄到的端面的图像进行白黑二值化处理，将端面存在的凹部识别为白图像，将端面的成为镜面的平坦部识别为黑图像。而且，基于白图像的面积相对于黑图像的面积的比率，评价玻璃基板的端面的特性。根据本专利技术的评价方法，与精度的可靠性依赖于端面存在的凹部的大小的现有触针式粗糙度仪进行的评价方法相比较，能够更正确地评价玻璃基板端面的特性。另外，根据本专利技术，优选将所述白图像的面积相对于所述黑图像的面积的比率的阈值设定为10%。本申请专利技术者对抑制端面的尘埃附着的所述比率进行了精心研究，结果查明，当比率超过10%时，尘埃易附着，如果是10%以下，那么尘埃难以附着。因此，在评价玻璃基板端面时，适宜将所述比率的阈值设定为10%。为了实现所述目的，本专利技术提供一种玻璃基板端面的加工方法，其特征在于，利用研磨部件研磨玻璃基板的端面，利用摄像单元拍摄该被研磨了的所述端面，通过对该拍摄到的图像进行白黑二值化处理，将所述端面存在的凹部识别为白图像，将所述端面的成为镜面的平坦部识别为黑图像，控制所述研磨部件研磨所述端面的研磨量使得所述白图像的面积相对于所述黑图像的面积的比率为规定的阈值以下。根据本专利技术，基于所述比率控制研磨部件对端面的研磨量。即，在所述比率比阈值大的情况下，判断为研磨部件的研磨量(研磨部件相对于玻璃基板端面的切入量)小，存在大量凹部，并进行最佳控制以使精磨品质最佳。由此，玻璃基板端面的品质稳定。另外，根据本专利技术，优选以所述白图像的面积相对于所述黑图像的面积的比率的阈值为10%以下的方式进行所述控制。根据本专利技术，可以稳定地制造在玻璃基板端面难以附着尘埃的玻璃基板。为了实现所述目的，本专利技术提供一种玻璃基板，其特征在于，通过本专利技术的玻璃基板端面的加工方法进行了加工。根据本专利技术的玻璃基板，因在玻璃基板端面难以附着尘埃，所以可以提供品质好的玻璃基板。为了实现所述目的，本专利技术提供一种玻璃基板，其特征在于，通过本专利技术的玻璃基板端面的加工方法进行了加工，大小为400mmX300mm以上,板厚(t)为O. 05mm以上、2. 8mm 以下，在具有倒角部的端面引出三根切线而得到的梯形形状满足下面的尺寸，1/3 彡 I — 2tan β Xff/t ^ 4/5β为开口角度，即玻璃基板的板面和玻璃基板的端面的倒角曲面的交点处的玻璃基板的端面的倒角曲面的切线与玻璃基板的板面所成的角度，且50°<80°，W为端面宽度，即从玻璃基板的板面和玻璃基板的端面的倒角曲面的交点至在玻璃基板的端面的前端引出的切线为止的与玻璃基板的板面平行的方向上的长度，根据本专利技术，通过在具有所述大小、所述板厚(t)、所述开口角度(β )的条件的玻璃基板中制造满足“1/3 ( f/t ( 4/5”的玻璃基板，能够在玻璃基板端面难以附着尘埃，且能够防止在倒角面产生烧伤、崩裂、缺口等缺陷。另外，玻璃基板端面和倒角面为同一个面， 将连结在玻璃基板的端面的倒角曲面引出的切线A、B和在玻璃基板的端面的前端引出的切本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：宫本干大，鸟井秀晴，木村友纪，
申请(专利权)人：旭硝子株式会社，
类型：
国别省市：