【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及到检测
,特别涉及用于液晶面板制程中阵列基板的检测方法及检测装置。
技术介绍
阵列基板是液晶面板的重要元件之一,在阵列基板的制程中,需要采用自动光学检测(Automatic Optic Inspection, AOI)系统对阵列基板进行检测。自动光学检测系统是基于光学原理来对阵列基板进行检测,其通过光学扫描装置自动扫描阵列基板,采集图像,检查出阵列基板上缺陷,并通过显示器或自动标志把缺陷显示或标示出来,供维修人员修复。目前常用的检测装置仅具有单一倍率的扫描镜头,在检测时通常采用该扫描镜头对阵列基板进行扫描拍照,当遇到的瑕疵太大时,超出了扫描视野,无法完整清晰的显示缺陷的图像;或当拍摄到的瑕疵部分太小时,所呈现的缺陷图像看不清缺陷,导致无法判断出正 确的缺陷类型。
技术实现思路
本专利技术的主要目的为提供一种可根据基板缺陷尺寸调整拍摄视野的检测方法和>J-U ρ α装直。本专利技术提出一种检测方法,用于检测阵列基板,包括步骤扫描阵列基板的缺陷,确定所述缺陷的尺寸;根据所述缺陷的尺寸,生成切换控制指令,将镜头切换至与所述缺陷尺寸相适应的放大倍率 ...
【技术保护点】
一种检测方法,用于检测阵列基板,其特征在于,包括步骤:扫描阵列基板的缺陷,确定所述缺陷的尺寸;根据所述缺陷的尺寸,生成切换控制指令,将镜头切换至与所述缺陷尺寸相适应的放大倍率;采用切换后的所述镜头拍摄所述缺陷。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:林勇佑,
申请(专利权)人:深圳市华星光电技术有限公司,
类型:发明
国别省市:
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