下载检测方法及检测装置的技术资料

文档序号:8451896

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本发明公开了一种用于阵列基板的检测方法和检测装置,其中,检测方法包括步骤:扫描阵列基板的缺陷,确定所述缺陷的尺寸;根据所述缺陷的尺寸,生成切换控制指令,将镜头切换至与所述缺陷尺寸相适应的放大倍率;采用切换后的所述镜头拍摄所述缺陷。本发明通过...
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