【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种光学元件抗激光损伤性能的测试方法，尤其是涉及。
技术介绍
高反射激光薄膜是高功率激光系统中的关键元件，为了深入研究高反射激光薄膜的损伤机制、准确评价薄膜的抗激光损伤能力，需要不断地发展和完善激光损伤阈值的测量技术，提高损伤阈值的测量精度和准确度，从而指导高反射薄膜制备工艺的优化和改进。目前，在损伤阈值测量过程中，为更加客观的反应薄膜的宏观激光损伤性能，通常选取尽可能大的测量区域，因此光栅扫描激光损伤阈值测量方式近年来被广泛采用。测量中，一般采用工作频率为IOHz的脉冲式Nd = YAG激光器，通过对扫描间隔和扫描轨迹的调节，可以对较大面积的样品表面进行覆盖，并对出现的损伤点的坐标和位置进行记录，留作后期的损伤生长测量。高反射激光薄膜的损伤机制决定了在测量过程中，薄膜中的缺陷和表面污染物在一定能量下会吸收激光并产生宽光谱分布的等离子体，等离子体将进一步吸收同一脉冲下的后续激光并逐渐扩大，这一过程将持续微秒至毫秒尺度，对于实时监测样品是否发生损伤的光电探测器或高速相机而言，都将形成一个的强信号区或曝光饱和区，从而极大的影响损伤的判断。当前，一般是采...
【技术保护点】
一种等离子体产生诱因识别方法，该方法用于高反射激光薄膜损伤阈值测量中，所述的损伤阈值测量的装置包括用于发射泵浦激光的泵浦激光器、用于带动被测样品移动的电动平移台、照明电源和实时监测并获取被测样品图像的损伤监控组件，所述的损伤监控组件包括在线显微镜和外触发式相机，其特征在于，所述的识别方法具体包括以下步骤：1)将被测样品固定在电动平移台，电动平移台控制被测样品做光栅轨迹移动，在线显微镜对准泵浦激光辐照被测样品的位置；2)泵浦激光器辐照前，外触发式相机通过电动平移台的移动对被测样品的每个位置进行图片采集，将第(x，y)张图片标记为N0xy，图片中缺陷点的局部坐标记为N0xy?a...
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：马彬，马宏平，张艳云，程鑫彬，焦宏飞，王占山，
申请(专利权)人：同济大学，
类型：发明
国别省市：
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