新型超高真空微调阀制造技术

一种新型超高真空微调阀，由螺杆微调机构及阀座、阀塞构成，螺杆微调机构用超高真空的密封方式安装在阀座上。阀针与无氧铜制成的锥孔密封，其螺杆微调机构由压紧螺母、小锥套、阀杆、差动螺杆、阀锥套、阀盖、波纹管、阀针、导向键组成，阀盖安装在阀座上，通过压紧无氧铜垫及不锈钢波纹管实现密封，旋转手柄固定于差动螺杆，阀杆与阀针连为一体，阀盖上设有内、外螺纹，螺纹处开有破口，通过压紧螺母6推动大锥套挤压阀盖的锥面达到消除与差动螺杆的螺纹间隙，旋转压紧螺母2即消除差动螺杆与阀杆的螺纹间隙。本实用新型专利技术设计合理，实用性强，采用了螺杆微调实现了超高真空密封。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及超高真空调节设备，具体是一种新型超高真空微调阀。
技术介绍
在超真空的应用领域，常需要精确的充入微量气体的微调设施，目前此类设施有两种阀，一是阀门内采用平面密封小孔，密封面材料用人造宝石，采用螺纹杠杆微调密封面的间隙精确控制气体流量。其缺点是，人工 宝石成本高，加工难度大，且易碎；二是阀门内采用锥孔密封，用螺纹的升降调节锥针与锥孔的间隙，以达到控制气体流量的目的。其缺点是，螺纹传动有间隙影响调节的精度，更重要的是螺纹本身就决定了不易实现精确微调。
技术实现思路
本技术的目的是解决上述难题，提供一种既能耐必要的烘烤又能实现精确微调流量且满足超闻真空密封的新型超闻真空微调阀。技术的技术方案是这样实现的一种新型超高真空微调阀，其特征在于由螺杆微调机构及阀座、阀塞构成，螺杆微调机构用超高真空的密封方式安装在阀座上。阀针与无氧铜制成的锥孔密封，其螺杆微调机构由压紧螺母、小锥套、阀杆、差动螺杆、阀锥套、阀盖、波纹管、阀针、导向键组成，阀盖安装在阀座上，通过压紧无氧铜垫及不锈钢波纹管实现密封，旋转手柄固定于差动螺杆，阀杆与阀针连为一体，阀盖上设有内、外螺纹，螺纹处开有破口，通过压紧螺母6推动大本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种新型超高真空微调阀，其特征在于由螺杆微调机构及阀座(12)、阀塞(11)构成，螺杆微调机构用超高真空的密封方式安装在阀座(12)上，阀针(10)与无氧铜制成的锥孔密封，其螺杆微调机构由压紧螺母(2、6)、小锥套(3)、阀杆(4)、差动螺杆(5)、大锥套(7)、阀盖(8)、波纹管(9)、阀针(10)、导向键(13)组成，阀盖(8)安装在阀座(12)上，旋转手柄固定于差动螺杆，阀杆(4)与阀针(10)连为一体，阀盖(8)上设有内、外螺纹，螺纹处开有破口。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：葛明，罗进军，
申请(专利权)人：葛明，罗进军，
类型：实用新型
国别省市：