闸门装置制造方法及图纸

技术编号:8045885 阅读:180 留言:0更新日期:2012-12-06 02:08
本发明专利技术涉及一种闸门装置,其用于在一个第一接受器和一个第二接受器之间的壁中设置的闸门开口,所述闸门装置具有一个设置在第一接受器的内腔中的闭锁机构和一个配属于该闭锁机构的配对板,其中在配对板的一个区域中设置一个第一磁体机构并且在闭锁机构的一个区域中设置一个配属于第一磁体机构的第二磁体机构,并且为了借助于所述第一和第二磁体机构来关闭和/或打开闸门开口,在闭锁机构和配对板之间可以产生一个正的和/或负的挤压力。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种闸门装置
技术介绍
在真空腔的隔离阀中,尤其是对于所述的用于涂覆基质的直列式设备在相对于所述接受器密封隔离阀舌门时经常出现问题。对于具有可回转的隔离阀舌门的隔离阀来说重要的影响因素是变形,尤其是在将所述舌门在隔离阀处于闭锁状态中压向接受器时回转轴和隔离阀舌门的扭曲。由此导致的变形的结果是隔离阀舌门的不均匀的压向包括闸门开口的弹性密封元件的挤压力,这导致了,沿着密封元件的走向不能保证在所有位置上为了可靠的密封所需要的最小挤压力。然而,为了保证一种足够的密封,一种通用的、但是费事的 并且成本昂贵的方案在于使用尺寸非常大的构件,通过这些构件可以施加一个足够高的转矩和一个相应的压紧力。由DE-OS 394 502已知一种具有一个负压腔和一个设置在负压腔两侧的隔离阀的装置。该阀板具有一种长的、平行六面体的形状,其中所述阀板与相应的三个轴承体固定连接。在所述轴承体中穿过一个轴,所述轴本身与摇杆连接并且可被一个具有电机的齿条传动机构回转。所述阀板相对于围绕位置固定的轴承可运动的杠杆可倾翻地保持住,使得阀板的密封面可压向在负压腔的壳体上的密封面。但是已经表明,利用该已知的隔离阀本文档来自技高网...

【技术保护点】
闸门装置,所述闸门装置用于在一个第一接受器和一个第二接受器之间的壁中设置的闸门开口,所述闸门装置具有一个设置在第一接受器的内腔中的闭锁机构和一个配属于该闭锁机构的配对板,或者所述闸门装置用于具有设置于在一个接受器和一个具有长久聚集的大气压力的区域之间的分开位置上的闭锁机构的闸门开口,其中,在配对板的一个区域中设置一个第一磁体机构并且在一个闭锁机构的区域中设置一个配属于第一磁体机构的第二磁体机构,并且为了借助于所述第一和第二磁体机构来关闭闸门开口,在闭锁机构和配对板之间可以产生一个正的挤压力,其特征在于,第一磁体机构是可控的励磁线圈,该励磁线圈单个或者多个地包围沿着开口走向的闸门开口,其中,通过...

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员:M·罗德A·穆勒A·卡斯帕里T·沃格特C·克莱森
申请(专利权)人:莱博德光学有限责任公司
类型:发明
国别省市:

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