【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及蓝宝石生产设备单晶炉测温仪观察镜片的清扫装置,用于清扫附着在石英玻璃镜片上的粉尘,保证测温仪的精度和灵敏性。
技术介绍
蓝宝石单晶炉在工作时需精确控制其炉内气氛的温度,目前工业上主要采用双色红外测温仪来测控炉内的温度。为保证炉内真空度或保护气体氛围,测温仪常通过密封的石英玻璃镜片与炉内空间隔离。而玻璃镜片上常常受到炉内气氛粉尘的污染,使测量精度和灵敏性下降。目前国际上对此问题还没有完善的处理办法。
技术实现思路
本专利技术的目的是为解决上述问题,提供一种蓝宝石单晶炉中测温仪观察镜片的清扫装置。所述清扫装置包括带法兰三通管、真空微调阀、电磁阀,所述真空微调阀与三通管上端的法兰连接,电磁阀一端与真空微调阀通过金属管道相连,另一端连接与保护气体气源相连的胶管总成,三通管下方一端的法兰与单晶炉炉体密封连接,另一端的法兰通过法兰套、螺栓与红外测温仪端部相连,并将红外测温仪端部的石英玻璃观察镜片置于三通管端部法兰与法兰套之间的空隙中。本专利技术所述清扫装置能随时清扫附着在测温仪石英玻璃观察镜片上的粉尘,保证测温仪的精度和灵敏性。附图说明图I是本专利技术所述清扫装 ...
【技术保护点】
一种蓝宝石单晶炉测温仪观察镜片的清扫装置,其特征在于:所述清扫装置包括带法兰三通管(1)、真空微调阀(2)和电磁阀(4),所述真空微调阀(2)与三通管(1)上端的法兰连接,电磁阀(4)一端与真空微调阀(2)通过金属管道(3)相连,另一端连接与保护气体气源相连的胶管总成(5),三通管(1)下方一端的法兰与单晶炉炉体密封连接,另一端的法兰通过法兰套(7)、螺栓(8)与红外测温仪(6)相连,并将红外测温仪端部的石英玻璃观察镜片(9)置于三通管端部法兰与法兰套之间的空隙中。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:方启彬,马剑钧,康宁,
申请(专利权)人:贵州建新南海科技股份有限公司,
类型:发明
国别省市:
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