洁净室及其自动清洁盒制造技术

本发明专利技术公开了一种洁净室，用于存放玻璃基板，该洁净室内设有粒子监测单元，该洁净室内还设有自动清洁盒，该自动清洁盒用于对该粒子监测单元进行清洁。本发明专利技术公开的洁净室可以在洁净室内部对卡匣和粒子监测单元进行清洁，其方便快捷，有效地降低了人力成本。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及液晶面板生产制造
，特别是涉及ー种洁净室及其自动清洁盒。
技术介绍
液晶面板是由玻璃基板经过多道制程制作而成，玻璃基板在各个制程和各道检测エ艺中，都需在无尘环境下完成。液晶面板制造行业中，玻璃面板存储于洁净室(Stocker)中，通过自动化搬运设备使玻璃基板完成各个制程和各道检测，而洁净室内如泄漏粒子(Particle)将对玻璃制程和检测有很大影响，会造成液晶面板良率下降。目前对于洁净室粒子监测，可以通过粒子监测单元来量测各洁净室内粒子的变化 状况，然而由于粒子监测单元会接触泄漏粒子的地方，经过长期使用后，粒子会累积在粒子监测单元上，此时需要人工定期清洁粒子监测单元，以保证粒子监测单元监控数据的准确性，然而人工清洁粒子监测单元花费时间较长，严重影响液晶面板的生产效率。
技术实现思路
本专利技术主要解决的技术问题是提供一种洁净室，以解决现有技术中人工清洁粒子监测单元花费时间较长的问题。为解决上述技术问题，本专利技术采用的一个技术方案是提供一种洁净室，用于存放玻璃基板，该洁净室内设有粒子监测单元，该洁净室内还设有自动清洁盒，该自动清洁盒用于对该粒子监测单元进行清洁。根据本专利技术一优选实施例，该洁净室内设有储位架，该储位架包括多个储位，该多个储位包括卡E储位,用于存放卡IL该卡E用于存放该玻璃基板；自动清洁储位,用于放置该自动清洁盒。根据本专利技术一优选实施例，该自动清洁盒包括盒体，该盒体内壁设有多个吹吸气嘴；盒盖，封闭该盒体以形成清洁空间；控制单元，用于控制该多个吹吸气嘴进行吹吸工作及控制该盒盖打开或关闭。根据本专利技术一优选实施例，该盒盖为卷帘。根据本专利技术一优选实施例，该粒子监测单元包括粒子计数器，用于监测粒子数量；无线通信模块，与该粒子计数器电连接，用干与外部监控中心保持通信；电源，与粒子计数器和该无线通信模块电连接，用于向粒子计数器和该无线通信模块供电。根据本专利技术一优选实施例，该粒子监测单元还包括卡匣框架，该卡匣框架与该卡匣储位相匹配，用于固定该粒子计数器、该无线通信模块以及该电源。根据本专利技术一优选实施例，该洁净室内设有自动化搬运设备，该自动化搬运设备用于搬运该卡匣及该粒子监测单元。根据本专利技术一优选实施例，该自动化搬运设备包括搬运叉，该搬运叉用于叉取卡匣及该粒子监测单元。为解决上述技术问题，本专利技术采用的另ー个技术方案是提供一种自动清洁盒，用于在洁净室中对粒子监测单元及卡匣进行清洁，其特征在干，该自动清洁盒包括盒体，该盒体内壁设有多个吹吸气嘴；盒盖，封闭该盒体以形成清洁空间；控制单元，用于控制该多个吹吸气嘴进行吹吸工作及控制该盒盖打开或关闭。本专利技术的有益效果是区别于现有技术的情况，本专利技术提供的洁净室中增设有自 动清洁盒，可以在洁净室内部对卡匣和粒子监测单元进行清洁，其方便快捷，有效地降低了人力成本。附图说明为了更清楚地说明本专利技术实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本专利技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图，其中图I为根据本专利技术ー优选实施例的洁净室的立体结构示意图；图2为图I中所示的洁净室的前视截面示意图；图3为图I中所示的粒子监测单元的结构示意图；图4为图3中所示的粒子监测单元的模块示意图；图5为图3中所示的粒子监测单元受污染的示意图；图6为图I中所示的自动清洁盒的立体结构示意图；图7为图6中所示的自动清洁盒的工作状态图ー；。图8为图6中所示的自动清洁盒的工作状态图ニ ；图9为图6中所示的自动清洁盒的工作状态图三。具体实施例方式下面将结合本专利技术实施例中的附图，对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅是本专利技术的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本专利技术保护的范围。请ー并參阅图I和图2，本专利技术提供一种洁净室10，用于存放玻璃基板，该洁净室10由顶板110、侧板120以及底板130围合形成。该洁净室10包括储位架140、自动化搬运设备160、粒子监测单元400以及自动清洁盒500。储位架140放置于底板130上,该储位架140包括多个储位,该多个储位包括用于存放卡匣142的卡匣储位和用于放置自动清洁盒500的自动清洁储位。其中，卡匣142用于存玻璃基板。该自动化搬运设备160包括搬运叉162，该搬运叉162用于叉取该储位架140上的该卡匣142、粒子监测单元400及自动清洁盒500。请ー并參阅图3至图5，粒子监测单元400包括粒子计数器410、无线通信模块420、电源430以及卡匣框架440。其中，该粒子计数器410用于监测洁净室10内的粒子数量；该无线通信模块420与粒子计数器410电连接，用干与外部监控中心保持通信；该电源430与粒子计数器410和该无线通信模块420电连接，用于向粒子计数器410和该无线通信模块420供电；该卡匣框架440与该卡匣储位相匹配，用于固定该粒子计数器410、该无线通信模块420以及该电源430。粒子监测单元400可用于对多个洁净室进行监测，如图I中所示，粒子监测单元400在一个洁净室10监测完毕后可以被搬运到下一个洁净室进行监測。卡匣142及粒子监测单元400经常被自动化搬运设备160搬运到洁净室10的各 个储位，长期使用后，粒子450会累积在粒子监测单元400及卡匣142上。现有技术中需要人工清洁粒子监测单元400及卡匣142，花费时间较长，严重影响液晶面板的生产效率。因此，本专利技术提供一种自动清洁盒500，请ー并參阅图5，该自动清洁盒500包括盒体510、盒盖520以及控制单元530。其中，该盒体510内壁设有多个吹吸气嘴512 ;该盒盖520封闭该盒体510以形成清洁空间；该控制单元530用于控制该多个吹吸气嘴512进行吹吸工作及控制该盒盖520打开或关闭。具体而言，该盒体510可为图5中所示的矩形盒体形状，但并不于此。该盒体510可以插入到自动清洁储位，或者，可以将储位架140的某些储位封闭形成该盒体510。该盒盖520可为卷帘或推拉式门板。请ー并參阅图6至图8，图6至图8示出了自动清洁盒500的工作状态图。当粒子监测单元400或卡匣142上累积了较多的粒子时，首先，可通过自动化搬运设备160将其搬运到自动清洁盒500内，如图6中所示；其次，控制单元530控制盒盖520封闭盒体510，如图7中所示；然后，控制单元530控制多个吹吸气嘴512进行吹吸工作，清洁该粒子监测单元400或卡匣142上累积的粒子，清洁完毕后，控制单元530控制盒盖520打开，如图8中所不；最后，自动化搬运设备160将粒子监测单兀400或卡證142搬运出，完成粒子监测单元400或卡匣142的清洁。综上所述，本领域技术人容易理解，本专利技术提供的洁净室10中增设有自动清洁盒500，可以在洁净室10内部对卡匣142和粒子监测单元400进行清洁，其方便快捷，有效地降低了人力成本。以上所述仅为本专利技术的示例性实施例，并非因此限制本专利技术的专利保护范围，凡是利用本专利技术说明书及附图内容所作的等效结构或等效流程变换，或直接或间接运用在其他相关的
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【技术保护点】
一种洁净室，用于存放玻璃基板，所述洁净室内设有粒子监测单元，其特征在于，所述洁净室内还设有自动清洁盒，所述自动清洁盒用于对所述粒子监测单元进行清洁。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：陈增宏，吴俊豪，林昆贤，齐明虎，郭振华，杨卫兵，
申请(专利权)人：深圳市华星光电技术有限公司，
类型：发明
国别省市：