【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及液晶面板生产制造
，特别是涉及ー种洁净室及其自动清洁盒。
技术介绍
液晶面板是由玻璃基板经过多道制程制作而成，玻璃基板在各个制程和各道检测エ艺中，都需在无尘环境下完成。液晶面板制造行业中，玻璃面板存储于洁净室(Stocker)中，通过自动化搬运设备使玻璃基板完成各个制程和各道检测，而洁净室内如泄漏粒子(Particle)将对玻璃制程和检测有很大影响，会造成液晶面板良率下降。目前对于洁净室粒子监测，可以通过粒子监测单元来量测各洁净室内粒子的变化 状况，然而由于粒子监测单元会接触泄漏粒子的地方，经过长期使用后，粒子会累积在粒子监测单元上，此时需要人工定期清洁粒子监测单元，以保证粒子监测单元监控数据的准确性，然而人工清洁粒子监测单元花费时间较长，严重影响液晶面板的生产效率。
技术实现思路
本专利技术主要解决的技术问题是提供一种洁净室，以解决现有技术中人工清洁粒子监测单元花费时间较长的问题。为解决上述技术问题，本专利技术采用的一个技术方案是提供一种洁净室，用于存放玻璃基板，该洁净室内设有粒子监测单元，该洁净室内还设有自动清洁盒，该自动清洁盒用于对该粒子监...
【技术保护点】
一种洁净室，用于存放玻璃基板，所述洁净室内设有粒子监测单元，其特征在于，所述洁净室内还设有自动清洁盒，所述自动清洁盒用于对所述粒子监测单元进行清洁。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：陈增宏，吴俊豪，林昆贤，齐明虎，郭振华，杨卫兵，
申请(专利权)人：深圳市华星光电技术有限公司，
类型：发明
国别省市：
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