【技术实现步骤摘要】
一种真空压力调节阀
本专利技术涉及阀门
，尤其涉及一种压力调节阀。
技术介绍
真空压力调节阀是真空设备上必不可少的部件，用来调节真空设备的压强，其操作的可控性和稳定性直接影响真空设备的使用性能。真空压力调节阀一般通过调节阀口流导大小来调节反应室真空度，流导是真空管道、孔、挡板、阱及阀门等元件传输气体的能力。 一般阀门的最小可控流导越小，阀的灵敏度越高，因此真空压力调节阀设计过程中需尽可能增大阀芯厚度，同时又要顾及到阀芯在阀腔内转动自如，间隙不能过小，因此要求阀腔、 阀芯和阀杆具有较高的精度，这就给设计和制造带来了难度。
技术实现思路
本技术提供一种真空压力调节阀，包括阀体、阀芯、阀杆、轴承、压力传感器、 PLC系统、电位器、电机和封堵，所述阀体内设置有阀芯和阀杆，所述阀杆穿过阀芯，其一端与所述轴承连接，其特征在于所述阀杆另一端与压力传感器连接，所述压力传感器还与 PLC系统连接，PLC系统分别通过导线与电位器、电机连接，所述封堵设置在阀体端部。本技术的有益效果为阀体设置有PLC系统，PLC能通过采集压力传感器所检测到的真空室实际压力值，与设定值比较，然后调...
【技术保护点】
一种真空压力调节阀，包括阀体（1）、阀芯（2）、阀杆（3）、轴承（4）、压力传感器（5）、PLC系统（6）、电位器（7）、电机（8）和封堵（9），所述阀体（1）内设置有阀芯（2）和阀杆（3），所述阀杆（3）穿过阀芯（2），其一端与所述轴承（4）连接，其特征在于：所述阀杆（3）另一端与压力传感器（5）连接，所述压力传感器（5）还与PLC系统（6）连接，PLC系统（6）分别通过导线与电位器（7）、电机（8）连接，所述封堵（9）设置在阀体（1）端部。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：蔡敏，唐广勇，
申请(专利权)人：天津市金佳同达科技有限公司，
类型：实用新型
国别省市：
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