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下载新型超高真空微调阀的技术资料

文档序号:8434462

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一种新型超高真空微调阀,由螺杆微调机构及阀座、阀塞构成,螺杆微调机构用超高真空的密封方式安装在阀座上。阀针与无氧铜制成的锥孔密封,其螺杆微调机构由压紧螺母、小锥套、阀杆、差动螺杆、阀锥套、阀盖、波纹管、阀针、导向键组成,阀盖安装在阀座上,通...
该专利属于葛明;罗进军所有,仅供学习研究参考,未经过葛明;罗进军授权不得商用。

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