基于二氧化钒纳米线的纳米材料导热系数的测量系统技术方案

本实用新型专利技术涉及基于二氧化钒纳米线的纳米材料导热系数的测量系统。该系统包括二氧化钒纳米线悬臂梁、激光热源机构、光学显微镜机构和真空压力腔机构；激光热源机构和光学显微镜机构位于真空压力腔机构外部。真空压力腔体内一侧设有硅片基底，二氧化钒纳米线悬臂梁的一端连接着硅片基底，一端为悬壁端，二氧化钒纳米线悬臂梁与真空压力腔体顶部的玻璃窗口对应；光学显微镜机构位于玻璃窗口外部的上方；测量时，待测纳米线悬臂梁的一端连接着硅片基底，且位于二氧化钒纳米线悬臂梁的上方；待测纳米线悬臂梁的另一端为悬臂梁，连接着二氧化钒纳米线悬臂梁的悬臂端。本实用新型专利技术用于相关热物性测量，成本低，防止纳米线表面出现加速老化，提高了测量的准确度。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术属于功能材料应用
，具体涉及一种基于二氧化钒纳米线相变特性的微/纳米材料导热系数测量系统。
技术介绍
目前，随着微/纳米加工和分析等技术的发展，研究发现半导体材料在微/纳米尺度下的尺寸效应、晶界效应等为其在力、热、光、电、磁等方面带来了独特性能，并由此制造出功能强大、性能优越的微/纳米级电子元器件，因此微/纳米材料具有巨大的应用前景。但是随着电子元件的尺寸持续减小至纳米级，其发热密度却持续增大，这对微/纳米器件的可靠性提出了挑战。因此，为了维持和提高该电子元件的工作性能，微/纳米尺度下散热问题及其相关热力学分析的基础研究成为了一个至关重要的课题。由于尺度的限制，微/纳米材料的导热系数等热物性参数的测量研究一直是一个公认的难题，尤其对单根纳米线/管热物性参数的有效测量手段并不多，可分为接触式和非接触式两类接触式包括有3 ω法、周期加热法、悬空热导法等；非接触式包括有闪光法、光热反射法、光声法。目前，这些研究方法存在有一定的问题如在斜率_3ω法等接触式方法中，微电路老化时加热膜与基底之间的漏电可能导致其非线性接触电阻的出现，进而造成纳米线导热系数测量实验的失败，而且加热器两本文档来自技高网...

【技术保护点】
基于二氧化钒纳米线的纳米材料导热系数的测量系统，其特征在于：包括二氧化钒纳米线悬臂梁（12）、激光热源机构（2）、光学显微镜机构（3）和真空压力腔机构（1）；激光热源机构（2）和光学显微镜机构（3）位于真空压力腔机构（1）外部；所述真空压力腔机构（1）包括真空压力腔体，真空压力腔体侧面设有真空压力腔进出口（14），真空压力腔体顶部设有玻璃窗口（15）；所述真空压力腔体内设有矩形承物台（10），矩形承物台上设有硅片基底（11）；所述二氧化钒纳米线悬臂梁（12）的一端通过铂金薄膜（13）固定连接着硅片基底（11），二氧化钒纳米线悬臂梁（12）的另一端为悬臂端，二氧化钒纳米线悬臂梁（12）与真空压力...

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：范雯，季杰，
申请(专利权)人：中国科学技术大学，
类型：实用新型
国别省市：