【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及一种用于均匀且快速地调节对象物的温度的温度调节装置及应用所述温度调节装置的压印(imprint)装置。
技术介绍
近年来，将模具压在树脂等被成型物上，转印微米或纳米等级的微细成型图案的纳米压印技术受到关注。纳米压印技术中，有热压印法及光压印法。热压印法中，使用热可塑性树脂作为被成型物，将所述热可塑性树脂加热至玻璃转化温度以上后以预定压力按压模具，且使其冷却至小于玻璃转化温度后，将模具的成型图案转印至热可塑性树脂上。此时，加热时使用加热器等，冷却时使冷却水在冷却流路上流动而进行(例如，专利文献1)。而且，光压印法中，使用光硬化性树脂作为被成型物，以预定压力将模具按压在所述光硬化性树脂上，在此状态下，对光硬化性树脂照射光，而将模具的成型图案转印至光硬化性树脂上。此时，光硬化性树脂的硬化速度、硬化收缩率也会根据硬化时的温度而有所不同，因此，需要在均匀温度下进行硬化操作，且尤其须在大面积下进行温度调节。专利文献1：国际公布号WO2004/...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2011.01.10 JP 2011-0026131.一种温度调节装置，其用于调节对象物的温度的温度调节装置，其特
征在于具有：
流体供给单元，从多个供给口供给预定温度的流体；
保持单元，包含保持所述对象物的保持面和承接从所述供给口供给的流
体的流体承接面；
温度调节用框体，与所述保持单元一同构成内含所述供给口的温度调节
室；以及
排出流路，排出所述温度调节室内的流体。
2.一种温度调节装置，其特征在于：
所述流体承接面具有配合所述供给口的位置而排列的多个凹部或凸部。
3.根据权利要求1或2所述的温度调节装置，其特征在于：
所述流体供给单元具有：第1加热槽及第2加热槽，将流体加热至预定
温度；供给流路，选择性地将所述第1加热槽或所述第2加热槽与所述供给
口连接；及所述排出流路，选择性地将所述温度调节室与所述第1加热槽或
所述第2加热槽连接。
4.根据权利要求1或2所述的温度调节装置，其特征在于：
所述流体供给单元...
【专利技术属性】
技术研发人员：河口宏辅，田中觉，
申请(专利权)人：SCIVAX股份有限公司，
类型：
国别省市：
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