The utility model provides a closed temperature adjusting device, which comprises a heating hood and a connecting pipe, wherein the heating fan casing is an open end, wherein the shell is provided with a connecting hole, one end of the connecting pipe and the connecting hole connected, another end of the connecting pipe near the the opening, which also includes a nozzle plate having a plurality of jet holes, the disc nozzle is arranged on the heating hood and connected to the other end of the pipe is connected. The utility model solves the problem that the temperature of the sample to be measured is not high when the sample to be preset temperature is too long for the traditional closed type temperature regulating device.
【技术实现步骤摘要】
封闭式温度调节装置
本技术涉及半导体测试设备
,具体涉及一种封闭式温度调节装置。
技术介绍
高低温气流温度冲击系统(THERMOJET)的工作原理是先设定目标温度,机台内部温控设备将压缩气体温度调节到目标温度后,再由机台的封闭式温度调节装置对待测样品(比如待测集成电路)进行温度调节。如图1所示,传统的封闭式温度调节装置包括加温风罩101、管状喷头102和气密圈103,所述加温风罩101为一端开口的圆柱形壳体,所述壳体上开设有一连接孔104,所述连接管102的一端与所述连接孔104连通,所述连接管102的另一端靠近所述开口,所述气密圈103设置于所述加温风罩101的开口处。加温时,将所述封闭式温度调节装置压于待测样品上,保证其气密性。然后,机台内达到预设温度的压缩气体通过管道从所述连接孔104进入所述管状喷头102,再由管状喷头102将压缩气体喷射于待测样品上,就能在短时间内让待测样品达到预设温度。然而,在实际使用中发现,待测样品距离管状喷头102较近的位置能够更快达到预设温度,但是其距离管状喷头102较远的位置需要较长时间才能达到预设温度,这就使得待测样品的整体温度要达到并稳定于预设温度,需要时间过长,导致测试效率不高;并且由于加温或者降温点只有管状喷头102处,导致待测样品的温度均一性较差,影响了测试结果的可靠性。
技术实现思路
为解决传统封闭式温度调节装置使待测样品达到预设温度的时间过长,待测样品的温度均一性不高的问题,本技术提供了一种封闭式温度调节装置。本技术提供了一种封闭式温度调节装置,其包括加温风罩以及连接管,所述加温风罩为一端开口的壳体,所述壳体 ...
【技术保护点】
一种封闭式温度调节装置,包括加温风罩以及连接管,所述加温风罩为一端开口的壳体,所述壳体上开设有一连接孔,所述连接管的一端与所述连接孔连通,所述连接管的另一端靠近所述开口,其特征在于,还包括一具有多个喷气孔的盘状喷头,所述盘状喷头设置于所述加温风罩内并与所述连接管的另一端连通。
【技术特征摘要】
1.一种封闭式温度调节装置,包括加温风罩以及连接管,所述加温风罩为一端开口的壳体,所述壳体上开设有一连接孔,所述连接管的一端与所述连接孔连通,所述连接管的另一端靠近所述开口,其特征在于,还包括一具有多个喷气孔的盘状喷头,所述盘状喷头设置于所述加温风罩内并与所述连接管的另一端连通。2.如权利要求1所述封闭式温度调节装置,其特征在于,所述盘状喷头为圆盘状结构。3.如权利要求1或2所述封闭式温度调节装置,其特征在于,所述封闭式温度调节装置还包括一连接件,所述盘状喷头通过所述连接件与所述连接管的另一端连通。4.如权利要求3所述封闭式温度调节装置,其特征在于,所述盘状喷头与所述连接件是一体成型的。5.如权利要求3所述封闭式温度调节装置,其特征在于,所述连接件套设于所述连接管上。6.如权利要求3所述封闭式温度调节装置,其特征在于,所述连接件与所述连接管通过内锁螺丝固定。7.如权利要求1或2所述封闭式...
【专利技术属性】
技术研发人员:张一帆,李莹,童炜,
申请(专利权)人:上海华力微电子有限公司,
类型:新型
国别省市:上海,31
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