【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种能够利用振动片来对物理量进行检测的元件。
技术介绍
以往，作为物理量检测元件，例如在专利文献I中公开了如下的振动片(该文献中 的振子)，其具备基部；支承部，其从基部起沿着X轴方向而相互向相反方向分别延伸；驱动臂(驱动振动臂)，其在支承部的各顶端，沿着Y轴方向而相互向相反方向分别延伸；￥轴用检测振动臂，其从基部起沿着Y轴方向而相互向相反方向分别延伸；Z轴用检测振动臂，其同样从基部起沿着Y轴方向而相互向相反方向分别延伸。根据该振动片，能够抑制因绕Z轴的旋转角速度而造成的Y轴用检测振动臂的寄生振动，从而减少旋转角速度的测定值的误差。此外，还存在例如专利文献2所公开这种振动片(该文献中的惯性传感器元件)。该振动片具有如下的简易的结构，即，具备具有多根脚部的振动部，且振动部从基部起沿着第一方向而相互向相反方向分别延伸，而且从基部起沿着与第一方向正交的第二方向而相互向相反方向分别延伸。沿着第一方向的振动部在一侧设置有激励电极，而在另一侧设置有检测电极，从而能够检测绕第一方向的旋转角速度(物理量)。同样，沿着第二方向的振动部能够检测绕第二方向的旋转角速度。但...
【技术保护点】
一种物理量检测元件，其特征在于，具备：基部、第一连结部以及第二连结部、第一驱动振动臂以及第二驱动振动臂、第三驱动振动臂以及第四驱动振动臂、第一驱动检测振动臂、第二驱动检测振动臂、第三驱动检测振动臂、第四驱动检测振动臂，定义如下的坐标轴，所述坐标轴具有：穿过作为所述基部的重心位置的原点的X轴、和穿过所述原点并与所述X轴正交的Y轴，且将X坐标和Y坐标均取正值的区域定义为第一象限，将X坐标取负值而Y坐标取正值的区域定义为第二象限，将X坐标与Y坐标均取负值的区域定义为第三象限，将X坐标取正值而Y坐标取负值的区域定义为第四象限，所述第一连结部以及所述第二连结部与所述基部连结，并沿着所...
【技术特征摘要】
...
【专利技术属性】
技术研发人员：市川史生，奥村洋一，菊池尊行，
申请(专利权)人：精工爱普生株式会社，
类型：发明
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。