角速度检测元件、角速度检测装置、电子设备以及移动体制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种能够减少无用振动且减少检测精度的下降的角速度检测元件、角速度检测装置、电子设备以及移动体。陀螺仪元件(1)具有：基部(21)；一对驱动臂(23、24)，其与基部(21)连接；检测部(22)，其对在以驱动振动模式而使驱动臂(23、24)弯曲振动的状态下所施加的角速度进行检测，驱动臂(23、24)在基部(21)的面内方向上以同相进行振动，且在基部(21)的厚度方向上以反相进行振动。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种角速度检测元件、角速度检测装置、电子设备以及移动体。
技术介绍
一直以来，作为用于检测角速度的陀螺仪元件而已知有专利文献1这样的陀螺仪元件。专利文献1所记载的陀螺仪元件具有：基部；一对驱动臂，其从基部向Y轴的一侧延伸；一对检测臂，其从基部向Y轴的另一侧延伸。在该陀螺仪元件中，当在以X轴反相模式使一对驱动臂进行驱动的状态下施加有围绕Y轴的角速度时，在一对检测臂上检测振动模式将被激励，根据通过该振动而产生的信号(电荷)，而能够对围绕Y轴的角速度进行检测。在此，一般情况下，陀螺仪元件的外形形状是通过使用光刻技法和蚀刻技法来对水晶基板进行图案形成从而获得的。具体而言，在水晶基板的上表面以及下表面上形成与外形形状相对应的掩膜，并通过经由该掩膜而对水晶基板进行蚀刻，从而能够获得陀螺仪元件的外形形状。然而，在这种方法中，存在上下掩膜产生偏差，从而驱动臂的截面形状与设计形状产生偏差的问题。顺便说明一下，该问题在形成掩膜的装置的精度上是难以避免的。在产生了掩膜偏差的陀螺仪元件中，在驱动振动模式下X轴反相模式中会耦合有Z轴同相模式的振动，由于该Z轴同相模式的振动而使检测臂在Z轴方向上本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种角速度检测元件，其特征在于，具有：基部；与所述基部连接的至少两个驱动臂；检测部，其对在以驱动振动模式而使所述两个驱动臂弯曲振动的状态下所施加的角速度进行检测；所述两个驱动臂在所述驱动振动模式下，在所述基部的面内方向上以同相进行弯曲振动，且在所述基部的厚度方向上以反相进行弯曲振动。

【技术特征摘要】
2015.03.23 JP 2015-0591461.一种角速度检测元件，其特征在于，具有：基部；与所述基部连接的至少两个驱动臂；检测部，其对在以驱动振动模式而使所述两个驱动臂弯曲振动的状态下所施加的角速度进行检测；所述两个驱动臂在所述驱动振动模式下，在所述基部的面内方向上以同相进行弯曲振动，且在所述基部的厚度方向上以反相进行弯曲振动。2.如权利要求1所述的角速度检测元件，其中，所述两个驱动臂以随着趋向于顶端侧而分离的方式倾斜。3.如权利要求1或2所述的角速度检测元件，其中，具有第一振动系统以及第二振动系统，所述第一振动系统以及所述第二振动系统具有所述检测部以及所述两个驱动臂，在所述驱动振动模式下，所述第一振动系统的所述两个驱动臂与所述第二振动系统的所述两个驱动臂在所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：中川啓史，
申请(专利权)人：精工爱普生株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP