【技术实现步骤摘要】
本技术涉及的是一种可提高镀膜工序加工能力的镀膜夹具磁框，应用于电子元器件晶体制造领域中的石英晶体谐振器的加工，属于石英电子元器件制作的生产领域。
技术介绍
目前，移动通讯、消费电子、汽车影音、IT信息等方面均对电子元器件包括晶体提出更小型化的要求，石英晶体的封装尺寸已由7. 0*5. Omm, 6. 0*3. 5mm, 5. 0*3. 2mm,4.0*2. 5mm向3. 2*2. 5mm, 2. 5*2. 0mm, 2. 0*1. 6mm过渡，作为石英晶体核心部件的石英水晶片也必须力求最小化，以适应后续工序小型封装组立的要求。在小型化产品需求日益增加的市场形势下，小型化产品的价格也在逐步降低，这就使得产品在生产的过程中生产能力和合格率必须得到有效提高，以减少成本的损失。而在后续的镀膜工序中，传统的镀膜夹 具由于磁铁分布稀疏吸力不强，导致许多水晶片偏离夹具的电极位置或掉出夹具(称为跑片)，这就使得镀膜工序的生产能力和合格率大大下降。同时由于在镀膜过程中，设备内溅射银离子是按一定的磁场工作的，不能增加磁铁的磁性，否则会改变溅射银离子的运动轨迹，镀膜频率不均匀。而本技术通过改变镀膜夹具磁铁的分布很好的解决了这一问题。常规的镀膜底框外形如图I、图2所示，图I中小方格部分为放置磁铁位置，磁铁内嵌于磁框中，底部无空洞；圆形位置为镀膜夹具使用的定位销。镀膜的时候两片夹具通过磁铁吸附在磁框上，水晶片在两片夹具中间，镀膜的时候，由于镀膜仓内温度比较高以及传送过程中的震动，使得吸力不强的夹具夹不紧水晶片，导致水晶片跑片。同时由于磁铁分布的不均匀，镀膜过程中溅射银粒子的运动轨...
【技术保护点】
镀膜夹具磁框，其特征是镀膜夹具磁框的四周是磁框边筋，镀膜夹具磁框内设五条磁框内筋，所述的磁框边筋和磁框内筋上设有若干个小方格，该小方格内放置磁铁。
【技术特征摘要】
1.镀膜夹具磁框，其特征是镀膜夹具磁框的四周是磁框边筋，镀膜夹具磁框内设五...
【专利技术属性】
技术研发人员：李坡，卞玉，李冬强，高志祥，
申请(专利权)人：南京中电熊猫晶体科技有限公司，
类型：实用新型
国别省市：
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