【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种,属于测量领域。
技术介绍
文献“一种可用于材料在低温环境下放气的测试系统,《真空》第44卷、2007年第 3期、第75 77页”,中介绍了测量材料放气率的4种方法,分别是收集法、称重法、压力上升率法、气体流量法。其中,气体流量法也称为小孔流导法,比前三种方法的测量精度高,该方法通过用两支真空规测量小孔前后上下游室的压力,根据材料在真空下释放的气体在管道中的流量来计算放气率。气体流量法(小孔流导法)的优点是测量方法简单,材料放气量与连续抽真空过程中真空室的压力动态变化一一对应,克服了压力上升率法中气体吸附的影响,是目前应用较为普遍,精度较高的一种测量方法。这种方法的不足之处是真空规的吸放气和两支真空规的差异性等本底因素给材料放气率测量带来的误差无法消除,当材料本身的放气率很小时,测试系统的本底可能会将材料的放气掩盖,使得测量结果的不确定度较大,从而难以精确测量材料的放气率;同时,使真空材料放气率的测量下限难以延伸。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种, 所述装置及方法使得真空材料放气率的测量精度高,不确定度小,且延伸了测量下限,测量范围宽。 ...
【技术保护点】
一种用双真空规气路转换测量材料放气率的装置,其特征在于:所述装置包括:第一机械泵(1)、第一分子泵(2)、第一真空阀门(3)、第二分子泵(4)、下游室(5)、第一小孔(6)、第一上游室(7)、第二上游室(8)、第二小孔(9)、第一真空规(10)、第二真空阀门(11)、第二真空规(12)、第三真空阀门(13)、第三真空规(14)、第四真空阀门(15)、第五真空阀门(16)、第六真空阀门(17)、第四真空规(18)、样品室(19)、样品(20)、第七真空阀门(21)、第三分子泵(22)、第二机械泵(23);第一机械泵(1)、第一分子泵(2)、第一真空阀门(3)、第二分子泵(4) ...
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:董猛,冯焱,盛学民,魏万印,孙雯君,刘珈彤,
申请(专利权)人:中国航天科技集团公司第五研究院第五一〇研究所,
类型:发明
国别省市:
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