一种基于含钛金属有机骨架材料的湿敏传感器及制备方法技术

本发明专利技术具体涉及一种含钛金属有机骨架材料MIL-125(Ti)湿敏传感器及制备方法。首先采用丝网印刷法在陶瓷衬底上制备Au金属叉指电极，采用水热法制备MIL-125(Ti)敏感材料，采用涂覆的方法，将敏感材料涂覆在金属叉指电极上，制成湿敏元件。采用的测试湿度范围为33％～100％RH，采用的测试电压为1V，频率为100Hz。本发明专利技术制备MIL-125(Ti)湿敏传感器具有制备工艺简单、器件体积小、适于大批量生产，对湿度有较高的灵敏度、较小的湿滞和较快的响应时间，在湿敏探测方面显示着巨大的应用价值。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术属于湿敏传感器
，具体涉及一种以MIL-125 (Ti)为湿度敏感材料、以Au为金属叉指电极的基于含钛金属有机骨架材料(MOF)的湿敏传感器及其制备方法。
技术介绍
湿度对人们的生活及工业生产有着密切的关系。在人类的生活中，如果空气过于潮湿，会使人感到沉闷，如果空气过于干燥，又会使人的皮肤感觉不适，而引起疾病。因此房间里要使用仪器对湿度进行检测控制；在工业生产中，湿度的控制直接关系到产品的质量；此外，粮食的存储、高空气象探测、温室种植等也都离不开湿度检测。 湿度传感器是利用湿度敏感材料直接吸附大气中的水分子，使得材料的电学性质等发生变化，经过检测连接外围电路敏感元件的输出信号变化而测量湿度变化。因此湿度传感器成为近年来的研究热点之一。用于湿度传感的材料有很多，目前主要集中在半导体、陶瓷和高分子等材料中。MOF由于具有良好的稳定性和较高的比表面积，逐渐被用于湿敏器件的研制。作为MOF材料的一种，MIL-125(Ti)的物理化学性质稳定，并且广泛应用在催化、分离、传感等方面。目前，对于MOF的湿敏性能研究鲜有报道。
技术实现思路
本专利技术的目的是提供一种基于含钛的金属有机本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种基于含钛金属有机骨架材料MIL？125(Ti)的湿敏传感器，其特征在于：从下至上依次由陶瓷材料衬底（1）、采用丝网印刷技术制备的Au金属叉指电极（2）、在叉指电极上采用涂覆技术制备的MIL？125(Ti)敏感层（3）组成。

【技术特征摘要】
1.一种基于含钛金属有机骨架材料MIL-125 (Ti)的湿敏传感器，其特征在于从下至上依次由陶瓷材料衬底(I)、采用丝网印刷技术制备的Au金属叉指电极(2)、在叉指电极上采用涂覆技术制备的MIL-125(Ti)敏感层(3)组成。2.如权利要求I所述的一种基于含钛金属有机骨架材料MIL-125(Ti)的湿敏传感器，其特征在于MIL-125(Ti)的粒径为150 300nm，MIL-125 (Ti)敏感层的厚度(3)为2 4 μ m,金属叉指电极的宽度和间距均为O. 15 O. 20mm,厚度为IOOnm 150nm。3.权利要求I所述的采用含钛的金属有机骨架材料MIL-125(Ti)为敏感材料的湿敏传感器的制备方法，其步骤如下 (1)、衬底的处理 首先分别用丙酮、乙醇棉球擦拭陶瓷衬底至干净，再将衬底依次置于丙酮、乙醇和去离子水中，分别超声清洗5 10分钟，最后在100 120°C环境下干燥； (2)、金属叉指电极的制备 采用丝网印刷技术制备Au金属叉指电极； (3)、水热合成MIL-125(Ti) 采用水热技术制备MIL-125 (Ti)纳米晶； (4)、敏感膜的制备 将干燥后的MIL-125(Ti)纳米晶放入研钵中，充分研磨；然后向研钵中滴入去离子水，再继续研磨，得到黏稠状的浆料；用药匙沾取少量的浆料，涂覆在叉指电极上，然后将其在60 80...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘彩霞，张莹，阮圣平，张宇鹏，沈亮，温善鹏，郭文滨，董玮，李伟，张晶晶，
申请(专利权)人：吉林大学，
类型：发明
国别省市：