一种基于钽酸钾敏感膜的湿敏传感器及其制备方法技术

本发明专利技术属于湿敏器件技术领域，具体涉及一种以钽酸钾为敏感膜的湿敏传感器及其制备方法。该传感器由陶瓷衬底、采用丝网印刷法制备在陶瓷衬底上的Au金属叉指电极、采用涂覆法制备在Au金属叉指电极上的钽酸钾敏感膜组成，其中钽酸钾敏感膜的厚度为2～4μm，金属叉指电极的宽度和间距均为0.15～0.20mm。首先采用丝网印刷法在陶瓷衬底上制备Au金属叉指电极，采用水热法制备钽酸钾敏感材料，采用涂覆的方法，将敏感材料涂覆在金属叉指电极上，制成湿敏元件。本发明专利技术制备钽酸钾湿敏传感器具有制备工艺简单、器件体积小、适于大批量生产，对湿度有较高的灵敏度、较小的湿滞和较快的响应时间，在湿敏探测方面显示着巨大的应用价值。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术属于湿敏器件
，具体涉及ー种以钽酸钾为敏感膜的湿敏传感器及其制备方法。
技术介绍
湿度对人们的生活、エ业生产、科学研究、国防建设以及动植物的生长有着密切的关系。在人类的生活中，如果空气过于潮湿，会使人感到沉闷，如果空气过于干燥，又会使人的皮肤感觉不适，因此房间里要使用仪器对湿度进行检测控制；在エ业生产中，湿度的控制直接关系到产品的质量；在国防方面，航天导弾、军用仪器的存储都离不开湿度的控制，因此军用仓库对湿度的检测必不可少；此外，粮食的防霉、高空气象探測、温室种植、禽蛋的存储等也都离不开湿度检测。 湿度传感器是利于湿度敏感材料直接吸附大气中的水分子，使得材料的电学性质等发生变化，经过检测连接外围电路敏感元件的输出信号变化而測量湿度变化。因此湿度传感器成为近年来的研究热点之一。用于湿度传感的材料有很多，目前主要集中在半导体，陶瓷和高分子等材料中。近些年，由于良好的稳定性，钙钛矿材料逐渐被用于湿敏器件的研制。作为钙钛矿材料的一种，钽酸钾的物理化学性质稳定，并且广泛应用在光催化电解水方面，因此，可将其应用在湿敏传感方面。目前，对于钽酸钾的湿敏性能研究鲜有报道。
技术实现思路
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【技术保护点】
一种基于钽酸钾敏感膜的湿敏传感器，其特征在于：由陶瓷衬底、制备在陶瓷衬底上的Au金属叉指电极、制备在Au金属叉指电极上的纳米钽酸钾敏感膜组成，其中钽酸钾敏感膜的厚度为2～4μm，金属叉指电极的宽度和间距均为0.15～0.20mm。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：阮圣平，张莹，刘彩霞，沈亮，郭文滨，董玮，周敬然，温善鹏，张歆东，陈维友，
申请(专利权)人：吉林大学，
类型：发明
国别省市：