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一种基于钽酸钾敏感膜的湿敏传感器及其制备方法技术
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文档序号:8160517
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本发明属于湿敏器件技术领域,具体涉及一种以钽酸钾为敏感膜的湿敏传感器及其制备方法。该传感器由陶瓷衬底、采用丝网印刷法制备在陶瓷衬底上的Au金属叉指电极、采用涂覆法制备在Au金属叉指电极上的钽酸钾敏感膜组成,其中钽酸钾敏感膜的厚度为2~4μm...
该专利属于吉林大学所有,仅供学习研究参考,未经过吉林大学授权不得商用。
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