【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种工艺腔体保护罩，包括呈环状的壳体，其特征在于：所述壳体内部形成空腔，所述壳体的底面形成多处与空腔导通的通孔；所述壳体的侧部设置与空腔导通的排气管，该排气管连接排气系统。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：任存生，张旭昇，张传民，文静，金见安，苏亚青，
申请(专利权)人：上海华力微电子有限公司，
类型：发明
国别省市：
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