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本发明公开了一种工艺腔体保护罩，应用于各种需要导出工艺废气的设备，例如电镀设备。该保护罩包括呈环状的壳体，所述壳体内部形成空腔，所述壳体的底面形成多处与空腔导通的通孔；所述壳体的侧部设置与空腔导通的排气管，该排气管连接排气系统。本发明一方面...
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