【技术实现步骤摘要】
本技术涉及一种厚度振动模式的压电振子，尤其涉及一种具有所谓台面型结构的压电振动元件、压电振子、压电振荡器以及电子设备。
技术介绍
AT切割水晶振子由于其振动模式为厚度剪切振动，适用于小型化、高频化，并且频率温度特性呈现优异的三次曲线，因此被应用于电子仪器等多个方面。 在专利文献I中，公开了一种所谓的台面型结构的压电振子，该压电振子与斜面结构以及凸面结构等同地发挥了能量封入效果，还公开了一种外形以及台面型结构均为圆形的压电基板。在专利文献2中，除外形以及台面型结构均为圆形的压电基板以外，还公开了一种外形为细长方形形状的台面型结构的压电基板。随着电子仪器的小型化，逐渐要求边长比(长边或短边相对于厚度的比)比较小的振子。边长比比较小的振子在主振动中容易结合有轮廓振动，从而会使主振动的电气特性劣化。在专利文献3中，公开了为了应对如下问题而完成的技术，S卩，当以台面型结构形成AT切割水晶振子，且在台面部和薄壁部之间的边界部处，边界部的侧壁相对于主面成90°时，存在从激励电极延伸出的引出电极(引线电极)发生断线的可能性，该技术通过使边界部的侧壁倾斜或者成为曲面，从而能够防止...
【技术保护点】
一种压电振动元件，其特征在于，具备：压电基板；各个激励电极，其分别被相对配置在所述压电基板的两主面上；引出电极，其从各个所述激励电极起朝向该压电基板的一个端部延伸；衬垫，其与各个所述引出电极电连接，且分别被形成在所述压电基板的两个角部上，所述压电基板具有：激励部，所述激励部位于所述压电基板的中央；周边部，所述周边部与所述激励部的厚度相比为薄壁且被设置在所述激励部的边缘上，所述激励部的、相对置的两个侧面各自为无阶梯状的平面，所述激励部的、相对置的另外两个侧面各自在厚度方向上具有阶梯部，在所述压电基板的各个角部的、与各个所述衬垫相对应的位置上，具有将所述压电基板固定在支承部件上...
【技术特征摘要】
2011.03.18 JP 2011-0604571.一种压电振动元件，其特征在于， 具备压电基板；各个激励电极，其分别被相对配置在所述压电基板的两主面上；引出电极，其从各个所述激励电极起朝向该压电基板的一个端部延伸；衬垫，其与各个所述引出电极电连接，且分别被形成在所述压电基板的两个角部上， 所述压电基板具有激励部，所述激励部位于所述压电基板的中央；周边部，所述周边部与所述激励部的厚度相比为薄壁且被设置在所述激励部的边缘上， 所述激励部的、相对置的两个侧面各自为无阶梯状的平面，所述激励部的、相对置的另外两个侧面各自在厚度方向上具有阶梯部， 在所述压电基板的各个角部的、与各个所述衬垫相对应的位置上，具有将所述压电基板固定在支承部件上的支承区域， 所述激励电极跨越所述激励部、和所述周边部的至少一部分的振动区域而形成。2.如权利要求I所述的压电振动元件，其特征在于， 所述压电基板为如下的水晶基板，即，以水晶的结晶轴、即作为电轴的X轴、作为机械轴的Y轴、作为光学轴的Z轴构成的直角坐标系中的所述X轴为中心,将使所述Z轴向所述Y轴的-Y方向倾斜了的轴设为τ'轴，将使所述Y轴向所述ζ轴的+ζ方向倾斜了的轴设为V轴，所述水晶基板被构成在与所述X轴和所述ζ'轴平行的面内，且以与所述Y'轴平行的方向作为厚度方向， 所述水晶基板具有激励部，所述激励部以与所述X轴平行的边为长边，以与所述V轴平行的边为短边，且位于所述水晶基板的中央；周边部，所述周边部与所述激励部相比为薄壁且被设置在所述激励部的边缘上， 所述激励部的、平行于所述X轴的两个侧面各自为无阶梯状的平面，所述激励部的、平行于所述Ζ,轴的另外两个侧面各自在厚度方向上具有阶梯部。3.一种压电振动元件，其特征在于， 具备压电基板；各个激励电极，其分别被相对配置在所述压电基板的两主面上；引出电极，其从各个所述激励电极起朝向该压电基板的一个端部延伸；衬垫，其与各个所述引出电极电连接，且分别被形成在所述压电基板的两个角部上， 所述压电基板具有激励部，所述激励部位于所述压电基板的中央；周边部，所述周边部与所述激励部的厚度相比为薄壁且被设置在所述激励部的边缘...
【专利技术属性】
技术研发人员：伊井稔博，内藤松太郎，
申请(专利权)人：精工爱普生株式会社，
类型：实用新型
国别省市：
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