压电振动元件、压电振子、电子装置及电子设备制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供一种压电振动元件、压电振子、电子装置及电子设备，所述振动元件为基波且高频、小型，主振动的CI值较小，从而寄生响应的CI值比较大。压电振动元件(1)具备:压电基板(10)，其具有薄壁的振动区域(12)、及沿着振动区域(12)的除一条边之外的三条边而被一体化的厚壁部；激励电极(25a、25b)，其分别被配置在振动区域(12)的表面及背面；引线电极(27a、27b)。厚壁部具备：隔着振动区域(12)而对置配置的第一厚壁部(14)和第二厚壁部(16)、以及连接设置在第一厚壁部和第二厚壁部的基端部之间的第三厚壁部(18)。第二厚壁部(16)具备：与振动区域(12)的一条边连接设置的倾斜部(16b)、与倾斜部(16b)的另一条边连接设置的厚壁的第二厚壁部主体(16a)、和至少一个应力缓和用的狭缝(20)。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种激励厚度切变振动模式的压电振子，尤其涉及一种具有所谓的倒台面型结构的压电振动元件、压电振子、电子装置以及使用了本技术所涉及的压电振子的电子设备。
技术介绍
由于AT切割水晶振子激励的主振动的振动模式为厚度切变振动，而适用于小型化、高频化，且频率温度特性呈优异的三次曲线，因此在压电振荡器、电子设备等多方面被使用。专利文献I中公开了一种在主面的一部分上形成凹陷部而实现了高频化的、所谓的倒台面型结构的AT切割水晶振子。使用水晶基板的Z’轴方向上的长度长于X轴方向上的长度的、所谓的Z’长基板。专利文献2中公开了一种在矩形的薄壁振动部的三条边上分别连接设置有厚壁支承部(厚壁部)，从而以=1字状设置有厚壁部的倒台面型结构的AT切割水晶振子。此外，水晶振动片为，使AT切割水晶基板的X轴和V轴分别以Y’轴为中心而在一 120° + 60°的范围内旋转而成的面内旋转AT切割水晶基板，并且水晶振动片为确保了振动区域，且批量生产性优异(获得多个)的结构。专利文献3和4中公开了一种在矩形的薄壁振动部的三条边上分别连接设置有厚壁支承部，从而以□字状设置有厚壁部的倒台面型结构的AT切割水晶振子，本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种压电振动元件，其特征在于，具备：压电基板，其包括振动区域、及与所述振动区域一体化且比所述振动区域的厚度厚的厚壁部；激励电极，其分别被配置在所述振动区域的表面和背面；引线电极，其以从所述激励电极延伸至所述厚壁部上的方式而设置，所述厚壁部以将所述振动区域的一部分开放的方式而具备：第一厚壁部和第二厚壁部，其隔着所述振动区域而配置；第三厚壁部，其连接设置在该第一厚壁部和该第二厚壁部的基端部之间，所述第二厚壁部具备：倾斜部，其厚度随着从与所述振动区域连接设置的一侧端缘朝向另一侧端缘离开而增加；厚壁主体，其与所述倾斜部的所述另一侧端缘连接设置，在所述第二厚壁部上设置有狭缝。

【技术特征摘要】
2011.06.03 JP 2011-125806;2012.01.11 JP 2012-00291.一种压电振动元件，其特征在于，具备 压电基板，其包括振动区域、及与所述振动区域一体化且比所述振动区域的厚度厚的厚壁部； 激励电极，其分别被配置在所述振动区域的表面和背面； 引线电极，其以从所述激励电极延伸至所述厚壁部上的方式而设置， 所述厚壁部以将所述振动区域的一部分开放的方式而具备 第一厚壁部和第二厚壁部，其隔着所述振动区域而配置； 第三厚壁部，其连接设置在该第一厚壁部和该第二厚壁部的基端部之间， 所述第二厚壁部具备 倾斜部，其厚度随着从与所述振动区域连接设置的一侧端缘朝向另一侧端缘离开而增加； 厚壁主体，其与所述倾斜部的所述另一侧端缘连接设置，在所述第二厚壁部上设置有狭缝。2.如权利要求I所述的压电振动元件，其特征在于，所述振动区域为矩形， 所述振动区域的四条边中的一条边被开放。3.如权利要求I所述的压电振动元件，其特征在于，所述狭缝沿着所述倾斜部与所述厚壁主体的边界部，而被配置在所述厚壁主体上。4.如权利要求I所述的压电振动元件，其特征在于，所述狭缝从所述振动区域的一条边离开而被配置在所述倾斜部内。5.如权利要求I所述的压电振动元件，其特征在于，所述狭缝具备 第一狭缝，其被配置在所述厚壁主体上； 第二狭缝，其...

【专利技术属性】
技术研发人员：石井修，
申请(专利权)人：精工爱普生株式会社，
类型：实用新型
国别省市：