温控设备管路切换装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种温控设备管路切换装置，用于实现对高精度温控对象组和低精度温控对象组的供水切换控制，包括第一温控设备,其输出口经第一支路和第二支路分别与高精度温控对象组和低精度温控对象组的输入口连接，其输入口经第五支路和第六支路分别与高精度温控对象组和低精度温控对象组的输出口连接；第二温控设备，其输出口经第三支路和第四支路分别与高精度温控对象组和低精度温控对象组的输入口连接，其输入口经第七支路和第八支路分别与所述高精度温控对象组和低精度温控对象组的输出口连接；以及八个控制阀，分别设置于第一至第八支路上，本实用新型专利技术能方便实现温控设备在工作状态和休息状态间切换以及对不同温控对象组进行选择性供水。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及半导体制造领域，尤其涉及一种温控设备管路切换装置。
技术介绍
目前，在半导体制造的光刻领域，由于扫描光刻机上需冷却对象较多，因此，常使用两台温控设备(即第一温控设备和第二温控设备)对上述冷却对象提供冷却水，并且两台温控设备的输出精度要求不同。一台温控设备为微动台或粗动台的扫描电机、步进电机、垂向电机(概括为高精度温控对象组)提供高精度冷却水；另一台温控设备为线缆台及放漂移的步进电机、扫描电机(概括为低精度温控对象组)提供低精度冷却水。现有技术中通常将两台温控设备安装在一个支架上，各自通过简单的连接装置，实现温控装置的通断，连接装置原理如图I所示。由图I可见，第一温控设备100和第二温·控设备200分别独自通过各自的管路和控制阀500向高精度温控对象组300和低精度温控对象组400供水，虽然其结构比较简单，但是当温控设备需要维护、检测或者应急调换时，需要将所有管路拆除再重新安装，耗时耗力。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种温控设备管路切换装置，可以实现在拆装管路和接头的情况下，实现对温控设备的工作状态和自测状态的切换，以及实现对温控设备对温控对象的选择性供水，切换方便，且省时本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种温控设备管路切换装置，用于实现对高精度温控对象组和低精度温控对象组的供水切换控制，其特征在于，包括：第一温控设备,其输出口经第一支路和第二支路分别与所述高精度温控对象组和低精度温控对象组的输入口连接，其输入口经第五支路和第六支路分别与所述高精度温控对象组和低精度温控对象组的输出口连接；第二温控设备，其输出口经第三支路和第四支路分别与所述高精度温控对象组和低精度温控对象组的输入口连接，其输入口经第七支路和第八支路分别与所述高精度温控对象组和低精度温控对象组的输出口连接；八个控制阀，分别设置于第一至第八支路上，用于控制各个支路的通断。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：张洪博，金敏，
申请(专利权)人：上海微电子装备有限公司，
类型：实用新型
国别省市：